非接触形状測定機
主な取扱メーカー
三鷹光器
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NH-6N
□ 液晶ディスプレイのパターン
□ 大型非球面ミラーをダイレクト測定
□ 測定範囲(X,Y,Z)=(400,500,170)mm -
NH-5N
門型構造で大型重量物の高精度測定を実現
□測定範囲(X,Y,Z)=(300,400,120)mm
オプション時Z=170mm -
NH-4N
8インチウェハ、リードフレームなど高密度、大型化する半導体製品の品質管理に最適
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NH-3SP
ご好評のNHシリーズをグレードアップし、Z分解能0.001μm、XY分解能0.02μmと超高精度を実現いたしました。
非接触で、サンプルの色や反射率、角度など、さまざまな表面の状態に影響されることなく測定を行い、広範囲の測定エリアとサブミクロンの測定精度を満足する3次元測定装置です。 -
NH-3SE
本装置はレーザープローブ式三次元測定器と回転ステージ、データのつなぎ合わせ（スティッチング）技術の融合により60°以上の傾斜面を持つ高NA非球面形状のサブμm計測を可能にしたシステムです。
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NH-3N
低反射率に左右されないオートフォーカス・完全非破壊測定・Z及びXYの全てに精度を追及した究極の非接触の世界を体感下さい。
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NH3-MA
加工から結像性能までの総合評価装置
□三鷹光器独自のレーザープローブ方式による表面形状測定と高精度画像処理によるレンズの光学特性評価を可能にしたシステム。
□大面積化が進むマイクロレンズアレイ(MLA)の研究開発、品質管理に最適。 -
NH120S
測定点を常にTVモニタで確認しながら測定が可能。
完全非接触：ワークを傷を付けることなく測定。
各社粗さスタンダードでの相関性が高い。
粗さ演算は JIS-B-0601：2001に準拠。 -
Confocal High Speed 3D Line Camera Sensor
コンフォーカル高速３Dラインカメラセンサー インライン対応 高速／非接触 ３D検査 サブミクロン全数高さ検査に!! -
全周三次元測定装置MLPシリーズ
