主な取扱メーカー

ニコンソリューションズ、オリンパス

  • ウエハローダ AL120
    エビデント
    ウエハローダ AL120 ウエハローダ 更なる機能を追求。歩留り・生産向上を強力にアシストします。
  • LSI検査顕微鏡用ウェハローダ NWL200
    ニコンソリューションズ
    LSI検査顕微鏡用ウェハローダ NWL200 LSI検査顕微鏡用 ウエハローダ 高密度化、多層化、高段差化が進む最新のウェハプロセスに対応して、マクロ検査機能として、搬送(ミクロ検査)、表面マクロ検査、裏面中央マクロ検査、裏面周辺マクロ検査を可能としたタイプ。