カテゴリー 非接触形状測定機 三鷹光器

非接触表面性状測定装置PFシリーズ

三鷹光器㈱NHシリーズのローコストモデル

高精度かつ低コスト

NH標準シリーズと同等の精度を持ちながら、機能をシンプルにすることで、低価格化を実現!

高機能評価ソフトを標準装備

NHのオプション評価ソフトMitakamapを標準搭載!
最小パッケージで多彩なデータ処理を実行可能!

高い拡張性

豊富な測定オプションでカスタマイズも自由自在!
予算に応じて最適な一台をお手元に!

製品ラインナップ

PF-60

◆卓上タイプ
卓上サイズの低コストモデル
PF-150

◆ステージ拡張タイプ
NH標準モデルと同等の
測定範囲を実現
PF-600

◆大型ステージタイプ
シリーズ最大の測定範囲

装置名

PF-60

PF-150

PF-600

スケール分解能(X,Y) 0.1um 0.1um 0.1um
スケール分解能(高さ方向) 0.01um 0.01um 0.01um
稼動範囲(X,Y) 60x60mm 150x150mm 600x600mm
稼動範囲(高さ方向) 10mm
対物レンズ 5x,100xレンズ標準搭載
OS、ソフトウェア Windows10 日本語、英語
オプション例 ・マクロ測定
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