接触式形状測定装置
主な取扱メーカー
小坂研究所
他にもミツトヨなどを取り扱いしています。
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サーフコーダ ET5000
サンプルサイズ880×680mmまでの大型ワークピースが高精度で自動測定できます。また、サンプルのロード/アンロードできるオプションも用意されています。
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サーフコーダ ET4000M
サーフコーダET4000Aから自動Y軸テーブルなどを除くことで、安価に仕上げたリーズナブル測定機です。高性能な微小測定力検出器により、微細形状が高精度で測定できます。
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サーフコーダ ET4000L
大きなワークピース用の測定機で、高性能な微小測定力検出器とオートレベリング機能やティーチング機能をもつ高精度・自動ＸＹテーブルとにより、微細形状が高精度で測定できます。また、三次元粗さが測定できるオプションも用意されています。
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フォームコーダ EF-150E
輪郭形状測定のスタンダードな測定機です。
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デジタルフォームコーダ EF3000
Z・X軸とも分解能0.1μｍデジタルセンサを採用しており、高精度な輪郭形状評価が行えます。
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デジタルサーフコーダ DSF800
高い分解能と広いダイナミックレンジをもつ触針式光路差増倍型レーザ干渉計方式センサにより、加工表面の形状と形状のなかに埋没している粗さやうねりがワンスキャンで評価できます。
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サーフコーダ ET4000A
高性能な微小測定力検出器とオートレベリング機能やティーチング機能をもつ 高精度・自動ＸＹテーブルとにより、微細形状が高精度で測定できます。 また、三次元粗さが測定できるオプションも用意されています。