カテゴリー 製品紹介, 接触式形状測定装置 /全自動微細形状測定機 小坂研究所

サーフコーダ ET5000

微細形状測定機 サーフコーダ ETシリーズ

ロゴ
ET200
ET4000
KAF-11
ET200
  • 高精度高さ再現性 1σ=0.5nm以内
  • 垂直アクチュエーター機構採用
    ※テコの原理でない
  • 低測定力 最小0.5μN~

精度・安定性・機能性抜群で、FPD基板・ウエハー・ハードディスク等の微細形状、段差、粗さ測定に最適な全自動微細形状測定機です。

KAF-11
ET5000
KAF-11
回転鳥瞰図
KAF-11
等高線図
 
ET200
ET4000
ET5000A
装置名 微細形状測定機  サーフコーダ ETシリーズ
接触式/非接触式 接触式
方式 垂直アクチェエーター方式
最大サンプルサイズ φ160厚さ48mm 210×210~530×390mm厚さ 50mm 920×730mm
厚さ 50mm
再現性 1σ 1nm以内 1σ 0.5nm以内 1σ 1nm以内
(ステージ中央)
測定可能範囲 Z:600μm
X:100mm
Y:25mm手動
Z:100μm
X:100mm
Y:150~400mm電動
Z:100μm
X:200mm
Y:1000mm電動
分解能 Z:0.1nmX:0.1μm Z:0.1nmX:0.01μm Z:0.1nmX:0.1μm
測定力 10μN~500μN 0.5μN~500μN 0.5μN~500μN
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