• 幸和電熱計器
    K-TRX 全反射蛍光X線 ウエハ表面分析装置
  • 幸和電熱計器
    K-MSX 膜密度組成測定装置 薄膜の絶対膜厚測定、密度測定、組成比測定などX線を使用して測定する事ができます。 Al,Cu,Ti,W,Au,Ni,Pt など金属膜やSiO2,SiNなどの透明膜、OEL膜など評価可狽ナす。
  • SE-101
    フォトニックラティス
    SE-101 PCA-エリプソメータ
  • SE-102
    フォトニックラティス
    SE-102 PCAエリプソメーター
  • ME-110
    フォトニックラティス
    ME-110 高速マッピングエリプソメーター
  • ME-210
    フォトニックラティス
    ME-210 高速マッピングエリプソメーター
  • フォトニックラティス
    エリプソメータ
  • PA-200
    フォトニックラティス
    PA-200 2次元複屈折評価システム 独自技術のフォトニック結晶を用いて面内複屈折分布を高速に測定
  • WPA-200
    フォトニックラティス
    WPA-200 ワイドレンジ型 2次元複屈折評価装置 PA-200同様に独自フォトニック結晶を用いる事に加えて、3波長の偏光解析を搭載する事で高位相差レンジ評価を可能としました。
  • PA-micro
    フォトニックラティス
    PA-micro 顕微鏡型2次元複屈折評価装置 PA-200の顕微鏡タイプとなります。 顕微鏡視野でのサンプルに対して、低倍から高倍の対物レンズを用いることで微小エリアでの二次元複屈折評価を可能としました。