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NEXIV VMR-10080

長大ストロークタイプ

CNC画像測定システム NEXIV VMR-10080外観

1000×800mmの長大ストロークで、大型の基板、
液晶用部品などの高精度測定に威力を発揮します。

■標準モデル

  • 被検物に応じて選べる3つの倍率タイプを用意
  • 立体部品にも余裕をもって対応できる、50mmの長作動距離
  • 15倍ズーム比により、低倍時の広視野と高倍時の高精度を両立
  • 表面形状に依存しない高精度AFを実現する高速TTLレーザAF
【測定対象】基板用印刷マスク、マザー基板
【測定対象】大型プリント基板
大型プリント基板
【測定対象】PGA
液晶
【測定対象】液晶
液晶

■TZモデル(高倍率タイプ)

  • 120×の光学倍率で、微小線幅も測定可能
  • 高NAかつ微小スポットの高精度TTLレーザAF
  • 長大ストロークかつ超高倍測定を実現
【測定対象】液晶ガラス基板(パターン測定)、有機ELガラス基板(パターン測定)
【測定対象】高密度基板
高密度基板
【測定対象】液晶
液晶

■LUモデル(ユニバーサル照明/電動レボルバタイプ)

  • 明視野、暗視野、微分干渉、簡易偏光観察に対応
  • 5ヶ孔電動ユニバーサルレボルバにより測定をスピードアップ
  • CFI60システムの豊富に揃った対物レンズが使用可能
  • 観察、測定からデータ処理まで、CNC自動リプレイ機能で制御可能
【測定対象】大型フラットパネルディスプレイ
【測定対象】フィルタ
フィルタ

■ 主な仕様

本 体 部
モデル VMR-10080 VMR-10080TZ VMR-10080LU
ストローク(X×Y×Z) 1000 × 800 × 150mm 高倍対物使用時:
1000 × 800 × 150mm
低倍対物使用時:
950 × 800 × 150mm
1000 × 800 × 150mm
最小表示単位 0.1μm
被検物最大質量 40kg
測定精度 U1X, U1Y 2 + 4L / 1000μm (被検物質量40kg時)
U2XY 3 + 4L / 1000μm (被検物質量40kg時)
Z軸測定精度(レーザAF使用時) 1.5 + L / 150μm
カメラ 白黒: 1/3型CCD (プログレッシブスキャン)、カラー: 1/3型CCD(オプション)
作動距離 50mm 高倍対物使用時:9.8mm
低倍対物使用時:32mm
組み合わせ対物レンズによる
倍率/視野 タイプ1 0.5 ~ 7.5×/9.33×7~0.622×0.467mm 1~120×/4.67×3.5~
0.039×0.029mm
組み合わせ対物レンズによる
タイプ2 1~15×/4.67×3.5~0.311×0.233mm
タイプ3 2~30×/2.33×1.75~0.155×0.117mm
オートフォーカス TTLレーザAF / イメージAF イメージAF
照明 透過、垂直落射、8分割LEDリング照明(中入射角/大入射角) 垂直落射、透過(高倍ヘッドのみ)、暗視野照明 透過照明、垂直落射照明(明視野または暗視野)
供給電源 AC100V±10%、50 / 60Hz
消費電流 13A 15A 13A
寸法(W×D×H)
/質量
本体
本体+測定台 1530 × 2200 × 1750mm / 約1500kg
コントローラ 250 × 550 × 500mm / 約31kg
設置寸法(W×D) 2800 × 2500 mm
ホスト コンピュータ
本体 IBM PC / AT互換機 (Windows®XP)
CRT 20型TFTカラー

CNC画像測定システム NEXIV VMR-10080寸法図

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