• ミニステッパー NES1-h04
    ニコンエンジニアリング
    ミニステッパー NES1-h04 投影露光装置 世界最小のフットプリントを実現
     MEMS製造に最適化した縮小投影露光装置
    □MEMSに最適化した新開発の投影レンズを搭載
    □世界最小のフットプリント
    □裏面アライメント機構搭載可能(オプション)
    □量産に対応したスループット
  • NES1-h02
    ニコンエンジニアリング
    NES1-h02 縮小投影露光装置 コンパクトでコストパフォーマンスに優れた、縮小投影方式の露光装置です。
    □スループットを飛躍的に向上
    □新開発の投影レンズを搭載
    □オフアクシスアライメント方式を採用
    □イージーオペレーション
    □コンパクトなサイズで省スペース
    □設置、立ち上げ時間を短縮
  • PrA II
    ニコンエンジニアリング
    PrA II レンズ縮小投影露光装置 磁気ヘッドのABS 加工用としては、多くの実績を誇る、投影方式の露光装置。
    □TTR*方式による高精度アライメント
    □トータルスループットが大幅向上
    □イージーオペレーション
    □コンパクトなサイズで省スペース
    □新設計のオートフォーカス方式を採用
    □設置・立上げ時間を短縮
    *TTR:Through The Reticle
  • 縮小投影露光装置(ミニステッパー)
    ニコンエンジニアリング
    縮小投影露光装置(ミニステッパー)
  • 加美電子工業株式会社
    超臨海CO2塗装
  • 露光機 露光装置 ミニステッパー
    ニコンエンジニアリング
    露光機 露光装置 ミニステッパー