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微細加工計測




■月刊オプトロニクス 2010年4月号掲載 
『WLC(ウェハレベルカメラ)レンズ概要と計測について』
http://www.optronics.co.jp/magazine/opt.php?year=2010&month=4
■月刊トライポロジ 2010年2月号掲載
『ナノインプリント装置向け非接触表面形状・光学特性評価装置の開発動向と適用事例』
http://tribology.shinjusha.info/monthlytribology.htm#feb
■2010年1月19日
第1回ナノインプリント技術セミナー(宮城県産業技術総合センター)にて、次のテーマで発表を致します。
「次世代ウエハレベルカメラ(WLC)向けレンズのニーズと課題及び対応する計測技術」
http://www.mit.pref.miyagi.jp/kenshu/09/pdf/H21_1st_nanoinprint_seminar.pdf
■2009年12月22日
平成21年度新規導入機器の外部設備紹介(京都府中小企業技術センター)にて、次のテーマで講習会を致しました。
「レーザプローブ式非接触三次元測定装置」
http://www.mtc.pref.kyoto.lg.jp/tec/eve/091222
■2009年12月11日
精密加工技術講習会(山梨県工業技術センター)にて
次のテーマで発表を致しました。
「最新のインプリント技術とその評価」
http://www.yitc.go.jp/Kaisai/data/annai091211.pdf?
■2009年12月8日
マイクロ・ナノ融合加工技術研究会 にて次のテーマを発表致しました。
⇒ http://www.mtc.pref.kyoto.lg.jp/rea/sem/nano09/nano1208
「次世代ウエハレベルカメラ(WLC)向けレンズのニーズと課題及び対応する計測技術」
2009年11月30日
微細形状・表面粗さ測定セミナー(宮城県産業技術総合センター)にて次のテーマで発表を致しました。
「レーザプローブ式測定機による非接触形状測定」
■2009年9月8日
第2回 超精密加工研究会(中部大学)にて次のテーマで発表をしました。
「次世代ウエハレベルカメラ(WLC)向けレンズのニーズと課題及び対応する計測技術」
■2009年8月31日
平成21年度補正予算事業戦略的基盤技術高度化支援事業にて次のテーマが採択されました。
「次世代ウエハレベルカメラ用マイクロレンズアレイ金型の超精密加工技術およびレンズ成形技
術の研究開発」

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