インテクノス　表面清浄度パーティクルモニタ PartSens-パーツセンス-

・表面異物や落下塵をわずか数秒で計数

　関連規格

• ISO14644-9
• ISO14644-13
• VDA19.2

背景

クリーンルームには、エアパーティクルカウンタでは測定が困難な５µｍ以上の「粗大粒子」が存在します。それら粒子はやがて落下・堆積し、製造環境のあらゆる表面の清浄度を低下させ、ヒトやシステムにより接触・運搬されることで再分散し、汚染が進行します。一度堆積した「粗大粒子」は、気流による制御が困難であるため、「適切な清掃プログラム」を確立し、効果的な清掃を実行しなければなりません。

PartSensは、クリーン製造環境のあらゆる表面に存在する「粗大粒子」の大きさと数を瞬時に測定し、それらを反射性粒子、非反射性粒子、繊維に分類するポータブル表面清浄度パーティクルモニタです。用途は、前室・エアーシャワー・床・壁・設備・装置内部の清掃効率、ウエア・グローブの清浄度管理、製品の洗浄効果など、表面清浄度に関連する様々なアプリケーションの評価を可能とします。

測定技術・関連規格

・ISO14644-9　・ISO14644-13　・VDA19.2

測定範囲

• 非反射性粒子　  2 µm ~ > 3000 µm
• 反射性粒子　　25 µm ~ > 3000 µm
• 繊維　　　　　50 µm ~ > 3000 µm

※最小検出サイズ:2μm

PartSensの測定原理は、VDA19.2の直接的/間接的測定や、ISO14644-9に記述される視斜光測定システム（グランシングライト照射式）に該当します。右図のように、測定プローブは外光を遮蔽し、測定エリアに対し左右からLED光を照射します。表面上の異物は、レンズを介し、反射光としてCCDカメラで認識され、二値化処理後、数秒で異物の最長径と個数がカウントされます。画像解析のような背景模様との単純な二値化でなく、立体的に浮かび上がった粒子だけを検出する独自の技術は、表面凹凸が少ない測定対象物に対して有効です。2µm以上の表面粗度がある一般対象物には、間接転写方式（専用テープリフトパッド）を用いて測定します。

■斜視光測定システム

専用のテープリフトパッド（別売・消耗品）を測定対象物にあて、専用台にセットします。その上に測定プローブを置き、スタートボタンを押すと数秒で結果が得られます。これにより、ヒト・ウエア・装置・部材・ツールなどの平坦でない表面の清浄度を数値化することができます。清掃または洗浄などの汚染対策の前後で表面付着異物を捕集し、測定値を比較することでその効果を評価することができます。

■推奨保管環境：室温+10〜20℃、 湿度60～70RH%

PartSensは、ヒト・製造環境・装置・部材やツールなどの表面清浄度を瞬時に数値化する革新的な清浄度監視機材です。ISO16232(VDA19)に基づく粒径分布に準じてヒストグラムを示すほか、検出された異物を反射性、非反射性、繊維に簡易分類し、かつ色別に表示する”種別分類機能”*を搭載しているため表面汚染を多角的に評価することができます。これらの情報は、清浄度改善の足掛かりとして有効的に活用いただけます。

*色別表示の例

• 反射性粒子：赤
• 非反射性粒子：水色
• 繊維：黄色