ウエーハ表面検査装置（WM series）

製品ラインナップ

WM-10R

WM-10Rは、パターンなし300mmウエーハ表面検査システムの標準モデルで、48nmの高感度検査装置です。

WM-7SR

WM-7シリーズは200mm以下のパターンなしウエハ表面検査装置で、200mmウエーハサイズ以下の最もリーズナブルな高性能モデルです。

１．高感度を実現する独自の光学系

WM-10Rはパーティクルに対して2軸の入射角を持ちます。

WM シリーズには、高感度検出用の 2 つの広角 NA レンズが搭載されています。

２．高解像度のXY位置によるスパイラルスキャン

WMシリーズは回転速度制御機能付きスパイラルスキャン方式です。

XY座標 データを EB レビュー装置に送信すると、簡単に位置合わせしてレビューできます。

WMシリーズ仕様

	WM-10R	WM-7SR
感度	48nm@ベアウェーハ	79nm(61nmオプション)@ベアウェーハ
ウェーハサイズ	～300mm	～200mm
光源	レーザーダイオード
ローダー	オープンカセット/FOUP/FOSB(1 or 2)	オープンカセット
装置サイズ	1,482(W)x1,229(D)x1,960(H) mm	860(W)x905(D)x1,655(H) mm
アプリケーション	ベアウエーハ/エキスパンドウエーハ