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ナノサーチ顕微鏡 LEXT OLS4500

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ナノサーチ顕微鏡 LEXT OLS-4500

光学顕微鏡の多彩な観察法を駆使して欠陥をスピーディーに検出し、位置を同定。そしてプローブ顕微鏡でさらに微小領域を高分解能で観察・測定をする。
複数の顕微鏡を使用しても困難だったことをLEXT(OLS4500)が一台で可能にしました。

光学顕微鏡からプローブ顕微鏡までの倍率変更イメージ

主な特徴

対物レンズとSPMスキャナをシームレスに切り換える事により、数十倍から百万倍以上の超ワイドレンジを一台の顕微鏡で効率よく観察することができます。
LEXT(OLS4500)なら、
LSMによる視野:2.5mm、測定高さ:1mmから
SPMによる視野:10nm台、測定高さ:nm台までの観察・測定が可能です。
100倍対物で捉えた対象物は、SPMに切り換えた時に必ず視野に入ってくるように設計されています。もちろん、逆にSPMで見ている視野を拡げたいときには、そのまま100倍対物に切り換えることにより、全体を観察することが可能です。
単に二種類のデータが得られるだけでない、豊富で有効な情報が取得できます。
SPM光路原理図
光学顕微鏡の機能も充実し、明視野(カラー)・暗視野・微分干渉観察が可能です。従来の単機能が苦手とした微小な傷、異物の視野探し、位置決めを行い、LSM、さらにSPM観察・測定に移れます。
LSMの光源には、408nmレーザーを使用。
精度の高い微細形状、段差計測を強力にサポートします。

レーザー顕微鏡観察像光学顕微鏡観察像(明視野・暗視野・微分干渉)

レーザー顕微鏡の仕様

LSM部 総合倍率 108~17.280×
対物レンズ 20×、50×、100×
光学ズーム 1×~8×
SPM部 最大走査範囲 水平(X、Y)30μm、垂直(Z)4.6μm
検出方式 光てこ方式
粗動方式 全自動機構
共通部 ステージストローク 100×100mm(電動ステージ)
Z焦準部ストローク 100mm
設置床寸法 1300(W) × 550(D)mm
総質量 約440kg
設置環境 室温 17℃~25℃ [温度変更:±1℃]
湿度 50~60%RH以下
震動 震動の少ない環境で除震台上に設置

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