特徴
優れた角度追従性
高感度AFセンサが表面からの僅かな反射光を捕捉。急斜面や段差のダイレクト精密測定を可能にします。
表面の色/反射率に依存しない高精度測定
表面の反射率わずか0.5％程度のコーティングガラスから反射率90％以上の鏡面までダイレクトに計測することが可能です。
ISOが認めた測定方式
ISO規格の測定原理により、より信頼性の高いデータを提供します
NHシリーズは、高さ測定用レーザオートフォーカス(AF)顕微鏡と高精度XYZステージにより構成されています。 図において顕微鏡鏡筒部に送り込まれたレーザ光は対物レンズを通り光軸中心の焦点面に向かって進み、ワーク表面に反射 して再び対物レンズを通ってAFセンサ上に結像します。デフォーカス時レーザスポットはセンサ上で位置が変化するのでこ の位置変化をセンサが捉え、AF駆動機構を用いて対物レンズをフォーカスポイントへ位置決めします。自動XYステージで ワークをスキャニングさせフォーカスした各点のXYZ値を取り込み形状測定を行います。この方式はワーク表面の色や反射率の影響を受けることなく広範囲の高精度測定が可能です。 また、従来のインデックス測定モードに加えてスキャンオートフォーカスモードを搭載したことにより、粗さ測定などでの 高速測定を実現しました。
粗さ測定にて国際基準と高い相関性
ポイントオートフォーカス式は触針式の粗さ測定と高い相関性を持ち、信頼性の高いデータを取得できます。
・粗さ標準片:TypeD1(ISO5436-1)
・校正機関:PTB(ドイツ)
・測定法：触針式
・スタイラス径:5μm
・評価長さ(ln):4 mm
・カットオフ値(λc):0.8 mm
仕様（NH-3SPs）
| 可動範囲(X,Y,Z,AF) |
150 x 150 x 120 x 10mm |
| XYスケール分解能 |
0.01μm |
| AF軸スケール分解能 |
0.001μm |
| 測定原理 |
ポイントオートフォーカス法 ISO25178-605 |
| レーザ |
λ=635nm出力 1mW以下 |
