Advantage１ Just fit New introduction
新規導入にジャストフィット Cost performance
低価格＆低ランニングコスト
対象となる製品を絞ることによって、必要にして充分なスペックを極め、旧型機と比較して２分の1という低価格を実現。
消耗部品が少ないので、メンテナンスにかかる費用を抑えることができ、ランニングコストを大幅に圧縮することができます。
Advantage２ Just fit space
買換えにジャストフィット Space saving
低フットプリント
1300mm×1300mmグレーチング床板4枚程度の省スペース設計。新規ライン設計での自由度が高いほか、旧型機と同サイズなので、既存のラインそのままで、入れ替えが可能。買い替えに伴うラインの再設計・改修が不要なため、大幅なコスト削減に繋がります。
元のスペースに入れ替えるだけ
周辺機を移動させる必要なく設置可能
Advantage３ Just fit various wafers sizes
どんな生産ラインにもジャストフィット Various wafers
各種ウェーハ対応
様々な素材・サイズ（小径・化合物半導体）のウェーハに対応。納入後のウェーハ仕様変更も可能です。
SiC、GaN、サファイア等対応
仕様
| ウエーハサイズ |
２”３”４”５”６”８”（2インチ差であれば共用可能） |
| ウエーハの種類 |
Si、SiC、GaN、GaAs、Quartz、Sapphire |
| 測定再現性（3σ） |
≦ 7.0 nm ※R to Rで ≦ 3.0 nm |
| TIS（平均値） |
≦ ± 7.0 nm |
| スループット |
100枚/h 以上 ※ウェーハ内5ポイントでの連続測定 |
| 装置サイズ |
1300mm(W)×1300mm(D)×1460mm(H) |
| 装置重量 |
800kg |
