超指向性　フィルム検査用照明 Bloom Ray

主な特長

超指向性の光で見えなかった欠陥を「可視化」

ファイバーの先から照射される超指向性の光は、検査対象の密度勾配が異なる媒質を通過する際に屈折します。この屈折を捉えることで、従来の目視検査では確認困難だったわずかな欠陥も鮮明に投影され、誰もが簡単に見つけられるようになります。

【世界初】生産ライン中でも手軽に検査可能

ファイバー先端から光を照射するため、設置面での負担を大幅に減らしました。ロールTOロールのフィルム生産プロセス中など、行程中でかざして手軽にフィルムムラをインライン検証することが可能です。このようなインラインでの簡易検証を可能にする光ファイバーを用いた超指向性光源は、他に類を見ない世界初の技術です。

環境と作業者に優しい「可視域波長」

　水銀ランプやキセノンランプで問題になっていた水銀の使用や紫外域の波長を排除し、可視域のもの波長で強力に欠陥を可視化します。
　環境負荷の低減と作業者の安全性向上に貢献します。

多様な検査対象に対応

　照射口からの距離を調整することで、幅のあるフィルムやガラス基板など様々なサイズの検査対象に対応できます。
　SAWフィルター向け素材の母材品質評価にも有効です。

[下図：IRカットフィルターの可視化]

メリット①

高機能フィルムの塗工・成形不良の可視化

ベースとなるPETフィルムの成形不良をはじめ、離型処理（シリコーンコーティング等）工程における液馴染み不足による「ゆず肌」などのレベリング不足、物理スジ、周期ムラ、配向ムラ・ボーイング現象、打突跡・フィッシュアイなどの微細な欠陥を鮮明に特定・検出します。

電子・ディスプレイ・半導体分野における致命的欠陥の未然防止

BloomRayは、透明〜半透明材料の内部状態を、非破壊・可視光のみで即座に可視化できる照明システムです。
従来、膜厚ムラや内部構造ばらつき、ボイド・密度ムラといった不具合は、X線・断面SEMなど時間とコストのかかる手法でしか確認できない、あるいは後工程で初めて顕在化する課題でした。
BloomRayを用いることで、
●樹脂厚みムラ、内部フィラー分散の不均一
●露光・現像・ラミネート条件差による内部構造のばらつき
●接着・仮固定工程におけるボイド、流動ムラ、応力起因の違和感
といった、「数値化や破壊評価の前に、まず“異常の存在”を確認したい現象」を、フィルムを切らず・壊さず・現場で即評価することが可能です。
「表面は問題ないが、後工程で不良が出る」 「どの条件が怪しいのか分からない」
そうした工程課題に対し、BloomRayは次工程に進む前のスクリーニング用途として効果を発揮します。

【対象フィルム】
層間絶縁フィルム（ビルドアップ基板向け・感光性）
ポリイミド／PBO系フィルム
仮固定・接着・封止フィルム
高透明・半透明 光学／電気複合フィルム
ダイシングテープ（加工用固定フィルム）
偏光フィルム・その他光学フィルム
など

【用途】
工程条件出し・トラブル初期解析
X線／SEM前の当たり付け
非破壊・インライン近傍での“まず見る”評価

【高度な拡張オプション】
画像処理連携：専用カメラと組み合わせ、リアルタイム画像処理により目視観察できない品質不良の検証が可能。

メリット②

光学・電子デバイス用ガラスの不具合特定

脈理、気泡の巻き込み、粘着剤の厚みムラ・スジ、接着面の「浮き」・剥がれ、異物混入による応力歪みなどを
強力に可視化します。

【アプリケーション例】
●フォトマスク用石英ガラス基板（厚物レチクル）
●マスクブランクス（石英プレート）
●リソグラフィ用石英プレート（ウィンドウ）
●露光装置用光学ウィンドウ基板
●干渉計用基準平板ガラス（λ/10レベル平行平板）
●精密測定用光学基準プレート
●大型石英ガラスブロック（光学ブランク材）
　など

高度なパーティクル・流体現象の可視化

オプションでクリーンルーム内の浮遊コンタミや表面の付着パーティクルの可視化にも運用を拡大できます。
さらに、シュリーレン撮影の代替として流体現象の可視化光源としても活用いただけます 。

製品仕様

光源種類	高輝度LD励起点光源　 ※レーザ安全クラス1のレーザー組み込み製品です。レーザーを内蔵していますがレーザー光は照射されません。
光源色	緑波長（中心波長550nm 波長範囲500～700nm）
本体サイズ	W342mm x D242mm x H183mm
重量	8kg
入力	単相AC100-120/220-240V　50/60Hz　5A/2A
消費電力	～500W
照射方式	ファイバー照射　または　本体からダイレクト照射
設計寿命	連続点灯で2万時間以上
使用環境	温度0～35℃　相対湿度20～85%（結露なきこと）
構成	・光源本体　・電源ケーブル　・ファイバー光学系ユニット
オプション	・ダイレクト照射ユニット　・専用画像処理カメラ+レンズセット