カテゴリー 露光装置 /縮小投影露光装置 ニコンエンジニアリング

NES1-h02

コンパクトでコストパフォーマンスに優れた、縮小投影方式の露光装置です。
□スループットを飛躍的に向上
□新開発の投影レンズを搭載
□オフアクシスアライメント方式を採用
□イージーオペレーション
□コンパクトなサイズで省スペース
□設置、立ち上げ時間を短縮
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