露光装置
セミオートアライナー
MA-1200A
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縮小投影露光装置（ミニステッパー）
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マスクレス露光機
マスクを製作せずにキャドデーターから直接描画できる露光装置です。
«メリット»
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- マスク製作のリードタイム ゼロ！
- マスク製作のコスト ゼロ！
- マスクパターンの修正変更が瞬時に可能！
- 3次元露光（3D）も可能です！
コンタクト露光機
お客様のご要望にお応え出来る露光機を各社取り揃えておりますので、是非お問合せ下さい。
