カテゴリー 露光装置 /投影露光装置 ニコンエンジニアリング

ミニステッパー NES1-h04

世界最小のフットプリントを実現
 MEMS製造に最適化した縮小投影露光装置
□MEMSに最適化した新開発の投影レンズを搭載
□世界最小のフットプリント
□裏面アライメント機構搭載可能(オプション)
□量産に対応したスループット
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