カテゴリー CNC画像測定機 /CNC画像測定システム ニコンインステック

NEXIV VMZ-K3040 / VMZ-K6555

コンフォーカル NEXIV VMZ-Kシリーズ

対物レンズの選択により、微細な高さ測定まで実現したVMZシリーズ
2つのステージストロークを用意

VMZ-K3040

VMZ-K6555

NEXIV VMZ-K3040

NEXIV VMZ-K6555

コンフォーカル光学系の基本原理

合焦時は共焦点画像としてカメラが検出します。非合焦時(会焦位置に被見物が存在しない場合)は、カメラが検出しません。

コンフォーカル原理
ニコンオリジナルLFC光学系:Low Flare Confocal Optics

高コントラスト/段差のあるサンプル(プリント基板銅線等)

明視野画像による2次元測定に加え、共焦点光学系による視野内一括高さ測定が行えます。明視野では検出しにくいエッジも、共焦点ではクリアに検出することが可能です。

測定例

  • プローブカード

  • 3D画像(先端のみ検出)

    明視野像
  • ウェハレベルパッケージ

  • 3Dビューアソフトウェア(オプション)による鳥瞰図
  • ボンディングワイヤ

  • 明視野像

    3D画像:全ワイヤの最高点を一括検出

    3D画像:ワイヤの高さプロファイル表示

    仕様

    モデル VMZ-K6555 Type-H VMZ-K6555 Type-S
    高倍ヘッド 標準ヘッド
    対物レンズ
    倍率 X30 X15 X7.5 X3 X1.5
    W.D. 5mm 20mm 5mm 24mm 24mm
    共焦点光学系(エリア高さ測定)
    最大高さスキャン範囲 1mm
    視野範囲 0.4X0.3mm 0.8X0.6mm 1.6X1.2mm 4X3mm 8X6mm
    繰り返し精度(2σ) 0.2μm 0.25μm 0.25μm 0.35μm 0.6μm
    高さ分解能 0.01μm
    明視野光学系(二次元測定)
    変倍方式 電動5段ズーム
    視野範囲 0.63X0.47~0.05X0.04mm 1.26X0.95~0.1X0.074mm 1.6X1.2~0.11X0.08mm 4X3~0.27X0.2mm 8X6~0.53X0.4mm
    照明 透過、同軸落射 透過、同軸落射、斜光
    照明光源 白色LED
    オートフォーカス TTL レーザAF/イメージAF
    本体
    ストローク(X,Y,Z) 650mmX550mmX150mm
    精度保証質量 30kg
    XY測定精度 1.5+2.5L/1000μm(U1X/Y)
    2.5+2.5L/1000μm(U2X/Y)
    Z測定精度 1+L/1000μm
    本体重量 830kg
    供給電源/消費電源 AC 100~240V±10% 50/60Hz /10A~5A
    環境条件 温度:20℃±0.5K/湿度:70%以下
    取得規格 CEマーキング(低電圧/EMC/レーザ)
    設置寸法(W X D) 2500X1900mm
    モデル VMZ-K3040 Type-H VMZ-K3040 Type-S
    高倍ヘッド 標準ヘッド
    対物レンズ
    倍率 X30 X15 X7.5 X3 X1.5
    W.D. 5mm 20mm 5mm 24mm 24mm
    共焦点光学系(エリア高さ測定)
    最大高さスキャン範囲 1mm
    視野範囲 0.4X0.3mm 0.8X0.6mm 1.6X1.2mm 4X3mm 8X6mm
    繰り返し精度(2σ) 0.2μm 0.25μm 0.25μm 0.35μm 0.6μm
    高さ分解能 0.01μm
    明視野光学系(二次元測定)
    変倍方式 電動5段ズーム
    視野範囲 0.63X0.47~0.05X0.04mm 1.26X0.95~0.1X0.074mm 1.6X1.2~0.11X0.08mm 4X3~0.27X0.2mm 8X6~0.53X0.4mm
    照明 透過、同軸落射 透過、同軸落射、斜光
    照明光源 白色LED
    オートフォーカス TTL レーザAF/イメージAF
    本体
    ストローク(X,Y,Z) 300mmX400mmX150mm
    精度保証質量 20kg
    XY測定精度 1.5+2.5L/1000μm(U1X/Y)
    2.5+2.5L/1000μm(U2X/Y)
    Z測定精度 1+L/1000μm
    本体重量 850kg
    供給電源/消費電源 AC 100~240V±10% 50/60Hz /10A~5A
    環境条件 温度:20℃±0.5K/湿度:70%以下
    取得規格 CEマーキング(低電圧/EMC/レーザ)
    設置寸法(W X D) 2500X1600mm
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