カテゴリー CNC画像測定機 /CNC画像測定システム ニコンインステック

NEXIV VMZ-H3030

NEXIV VMZ-H3030 高精度タイプ

NEXIVシリーズの中で最高精度の測定を実現
精密なステージ動作と高性能な工学系により使いやすさとともに、スピーディ、かつNEXIVシリーズの最高精度での測定を実現
VMZ-H3030

NEXIV VMZ-H3030

主な特徴

NEXIVシリーズの最高精度モデル

EUX,MPE,EUY,MPE:0.6+2L/1000μm

EUZ,MPE:0.9+L/150μm

XYZストローク:300X300X150mm

測定タイプに応じた5タイプのズームヘッド

光学ヘッド 光学倍率 主な測定対象
タイプ1 0.5X – 7.5X 金型、機械部品(家電、自動車)、PCB、電子部品、セラミック部品
タイプ2 1X – 15X
タイプ3 2X – 30X 各種電子部品
タイプ4 4X – 60X 微細パッケージ基板(ライン幅、高)
タイプ5 1X – 120X ウェハパターン(WLP、バンプ高さ、再配線用マスク、MEMSマスク

仕様

ストローク(X,Y,Z) 300X300X150mm
最小表示単位 0.01μm
被検物最大質量 30kg(精度保証値:10kg)
測定精度 EUX,MPE,EUY,MPE:0.6+2L/1000μm
EUXY,MPE,:0.9+3L/1000μm
EUZ,MPE:0.9+L/150μm
精度保証環境 20℃±0.5K
駆動最高速度(XY,Z) 100mm/s、50mm/s
駆動最低速度(XY,Z) 0.01mm/s、0.001mm/s
カメラ 白黒1/3″型CCD、カラー1/3″型CCD ※カラータイプはタイプ1、2、3のみ対応
作動距離 タイプ1、2、3:50mm(75度のLED照明使用時は10mm)
タイプ4:30mm
タイプTZ:31mm(低倍)、11mm(高倍)
倍率 / 視野 タイプ1:0.5-7.5x / 9.33×7.01-0.622×0.467mm
タイプ2:1-15x / 4.67×3.50-0.311×0.233mm
タイプ3:2-30x / 2.33×1.75-0.155×0.117mm
タイプ4:4-60x / 1.165×0.875-0.078×0.058mm
タイプTZ:1-120x / 4.67×3.5-0.039×0.029mm
オートフォーカス イメージAF、レーザーAF
照明 タイプ1、2、3、4:垂直落射、透過、8分割リング
※全系統白色LED光源/タイプ1、2、3は角度/タイプ4は1角度
タイプTZ:垂直落射、透過、暗視野
供給電源 AC100 – 240V ±10% 50/60Hz
消費電流 5A – 2.5A
寸法(W x D x H)/質量 本体+測定台:1000x1125x1750mm/約500kg
コントローラ:190x450x440mm/約15kg
設置寸法(W x D) 3000x2800mm
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