三鷹光器㈱NHシリーズのローコストモデル
高精度かつ低コスト
NH標準シリーズと同等の精度を持ちながら、機能をシンプルにすることで、低価格化を実現！
高機能評価ソフトを標準装備
NHのオプション評価ソフトMitakamapを標準搭載！
最小パッケージで多彩なデータ処理を実行可能！
高い拡張性
豊富な測定オプションでカスタマイズも自由自在！
予算に応じて最適な一台をお手元に！
製品ラインナップ
PF-60
◆卓上タイプ
卓上サイズの低コストモデル
◆卓上タイプ
卓上サイズの低コストモデル
PF-150
◆ステージ拡張タイプ
NH標準モデルと同等の
測定範囲を実現
◆ステージ拡張タイプ
NH標準モデルと同等の
測定範囲を実現
PF-600
◆大型ステージタイプ
シリーズ最大の測定範囲
◆大型ステージタイプ
シリーズ最大の測定範囲
|
装置名 |
PF-60 |
PF-150 |
PF-600 |
|---|---|---|---|
| スケール分解能（X,Y） | 0.1um | 0.1um | 0.1um |
| スケール分解能（高さ方向） | 0.01um | 0.01um | 0.01um |
| 稼動範囲（X,Y） | 60x60mm | 150x150mm | 600x600mm |
| 稼動範囲（高さ方向） | 10mm | ||
| 対物レンズ | 5x,100xレンズ標準搭載 | ||
| OS、ソフトウェア | Windows10 日本語、英語 | ||
| オプション例 | ・マクロ測定 | ||
