カテゴリー 製品シリーズ, 膜厚計 株式会社フォトニックラティス

エリプソメータ

【フォトニックラティス】

高速マッピングエリプソメータ ME-210外観

ME-210
高速マッピングエリプソメータ

  • 【特徴】微小領域からウエハー全面の膜厚分布まで測定可能とした、最新鋭の機種となります
    ◎横分解能20μm角
  • 【用途】ウェハーのレジスト膜厚、熱酸化膜厚の評価、パターン膜厚
高速マッピングエリプソメータ ME-110外観

ME-110
高速マッピングエリプソメータ

  • 【特徴】極薄膜の膜厚&屈折率分布の高速測定
  • 【用途】ウェハーのレジスト膜厚、熱酸化膜厚の評価
PCAエリプソメータ SE-101外観

SE-101
PCAエリプソメータ

  • 【特徴】簡単操作、ポータブル、低価格、脱着可能なヘッドユニット
  • 【用途】ウェハーのレジスト膜厚、熱酸化膜厚の評価
PCAエリプソメータ SE-102外観

SE-102
PCAエリプソメータ

  • 【特徴】膜厚や屈折率の、線分布や面分布を、高速に測定
  • 【用途】半導体ウエハの微細パターンやバイオセンサーの薄膜評価など、様々な試料の膜厚分布を測定。
ME-210の測定事例

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