コンタミ可視化システム

レーザー安全対策不要

安全対策不要のクラス1レーザーを採用

従来製品ではレーザークラス4の光源が必須でしたが、本製品は安全対策不要のクラス1の運用になり、製造現場で手軽にパーティクルの可視化を行えます。

高性能

サブミクロンまで可視化

粗⼤粒⼦からサブミクロンまでの異物をターゲットに可視化できます。
また本システムは、付属する『ハンディプローブ』を用いることで、専門知識や煩雑な設定を必要とせず、誰でも手軽にサブミクロンのコンタミ撮影を実現します。購入後に「使いこなせるか分からない」という不安を感じさせないことを、設計思想の中心に置いています。海外工場での運用にも効果的です。

小型・最軽量

小型化した光源ヘッドとカメラで製造装置に直接アプローチ

業界最小クラスの照射ヘッドとカメラ筐体を実現し、局所クリーン化が進む製造ライン内の様々な場所に配置ができ、製造工程全体の発塵管理に利用可能です。

まずはWeb打ち合わせにて製品をご覧ください。
クリーン環境でどのように観察できるか、保有の清浄度設備にてWebカメラ越しに製品をご紹介させて頂きます。
清浄度：ISO 14644-1 Class 6（相当）
※クリーンルーム評価・運用はISO 14644-1 / -2 / -3に準拠
※清浄度測定はISO 21501-4準拠

用途・製品仕様

主な用途

【半導体業界】
半導体製造における異物起因の不良は、高度化する工程においてますます顕在化しています。本システムは、製造装置内部の発塵・浮遊・付着に至る一連の微粒子挙動を可視化し、原因特定と工程改善を支援します。
■装置内のコンタミ源を可視化・特定
■搬送から後工程まで発塵を可視化
■工程全体の微粒子起因を見える化
■装置内異物の発生・挙動を可視化
■歩留まり低下の原因微粒子を可視化

【バッテリー業界】
リチウムイオンバッテリーや全固体電池などの2次電池の製造工程では、生産装置前面を開口せずに金属異物の観察を実現する後方散乱撮影に対応しています。
■巻回・積層：電極組立時の異物挙動可視化
■スリット：切粉・粉塵の発生源可視化
■超音波溶接：溶接時の発塵挙動を可視化

【高機能フィルム業界】
コンタミを可視化するだけでなく、フィルムのスジムラ検査や付着異物評価でも運用可能です。
■塗工：塗布ムラと異物挙動可視化
■スリット：切粉・微粒子発生や集塵捕集効果を可視化
■積層：フィルム積層時の異物可視化
■貼り合わせ：貼合時の気泡・異物可視化
■外観検査：スジムラの発生を可視化　※オプション

製品仕様

	光源タイプ	光源色	照射部サイズ(WxDxHmm)	照射部重量(kg)	装置内設置	対象粒径	運用制限	推奨シーン
CVS-I	LDP光源	黄緑色	Φ35x100mm	60kg	ファイバー挿入	0.1μm～粗大粒子まで	レーザークラス非該当	半導体・フィルム・二次電池
	イメージセンサ	カラーモード	筐体サイズ	ヘッド重量	装置内設置	センサーサイズ	画像サイズ	付属レンズ
パーティクル可視化カメラ	CMOS	モノクロ	35×30×16mm	50kg	USBケーブル挿入	2/3インチ	500万画素	広角・標準・拡大
	画像処理モード			保管処理			オプション
ParticleLabs Software	超高感度、周波数差分、付着異物強調、キズ・塗布ムラ強調処理			粒子挙動抽出、粒子マスク処理、ノイズ低減			粒子カウント、粒子分級評価、高濃度粒子評価
【標準システム構成】光源本体、光学系各種、レンズセット(広角・標準・拡大)、リアルタイム画像処理カメラ、微粒子可視化ソフトウェア、光学フィルター、ビューワーソフト【サービス付属】折り畳み三脚×２、ミニ三脚×２、磁気式固定治具×２、吸盤式固定治具×２、ハンディプローブ、アクセサリ用アルミケース

世界初！レーザー光を照射せずにサブミクロンの微粒子を可視化できる光源システム