カテゴリー 搬送機/ロボット /LSI検査顕微鏡用 ウエハローダ ニコン

NWL200

高密度化、多層化、高段差化が進む最新のウェハプロセスに対応して、マクロ検査機能として、搬送(ミクロ検査)、表面マクロ検査、裏面中央マクロ検査、裏面周辺マクロ検査を可能としたタイプ。
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