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メールマガジンvol.33

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★☆★ Ryokosha メールマガジンvol.33 お役立ちニュース ★☆★
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【INDEX】

・注目製品のご案内

           【注目製品のご案内】

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世界初! 絶縁体も吸着OK! 静電ウェハーサポーター吸着方式

『ガラス/極薄ウェハー/小径ウェハー/金属箔/フィルム材向け 固定・ハンド
 リングシステム』のご案内 ~接着材フリー 電気的制御のみにて実現~
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 私たちをとりまく様々な最先端デバイスは、部材の固定・ハンドリングにお
 いて、如何に部材にストレスをかけず固定・ハンドリングができるかが大き
 なテーマであり課題であります。
 
 同様に最先端プロセス(成膜、エッチング、露光)には、部材固定した状態
 でのプロセスが必須です。従来方式の静電チャック、また接着剤による支持
 基板への固定方法の課題を解決できる電気制御のみで吸着・剥離が可能な静
 電ウェハーサポーターをご紹介いたします。

<従来方式:静電チャック>

 ■搬送を伴うプロセスで不自由する(コード付きの為)

 ■裏面(吸着面の逆面)帯電してしまいコンタミを引き寄せる

<従来方式:接着剤>

 ■剥離時 部材へのストレス

 ■剥離後の粘着材洗浄でプロセスが多い

<筑波精工製:静電ウェハーサポーター吸着方式の特徴>

 ■吸着面の材質はポリイミドになります。

 ■コードレスかつバッテリー不要。静電力(クーロン力)により、部材固定で
  解除電圧をかけるまで吸着を維持します。

 ■電気的制御のみの為、解除後も部材洗浄が不要です。

 ■裏面帯電しません。搬送、プロセス下でコンタミを引き寄せません。

 ■絶縁体であるガラス、フィルム:PET、TAC、樹脂PC板も吸着可能です。

 ※ワークの電気抵抗がポリイミドより高いものは吸着出来ません。
  (15乗Ω以上は吸着NG)

<運用事例>

 ■小径ウェハー(化合物、SiC、他)のウェハサポート。

 ■最先端半導体プロセス向け極薄ウェハ固定キャリアプレート

 ■パネル業界でのガラス、フィルムの固定・搬送。ポンプからのエアの引き
  回しが不要。

http://www.ryokosha.co.jp/pamphlet/r/170627-1.pdf

 
<標準ラインナップ>
 4”  6”  8”  
 特殊形状サイズ対応可能

 デモ対応も承っておりますので、お気軽にご相談ください。

 詳細資料をご希望の方は、お問い合わせよりお問い合わせ下さい。