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★☆★ Ryokosha メールマガジンvol.6 お役立ちニュース ★☆★
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【INDEX】
・菱光社 Plus One 情報
・おすすめ商品のご案内
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【菱光社 Plus One 情報】
◆━…‥「微細表面評価観察について」━━━━━━━━━━━━━━━━━━
魔鏡というものをご存知ですか？ 光を当てて反射光を壁に投影すると、像や
模様が陰影となって現れる金属鏡のことをいいます。製法としては薄く作った
鏡の裏面に模様を鋳込んで表面（鏡面）を磨くと、鏡面に微細な凹凸が生じて
反射光に明暗の差を作り出す仕組みです。
この特徴を利用して微細表面評価観察装置にしたものがVスコープです。平行
光線ないし点光源からの拡散光線を反射すると、反射面のわずかな歪みにより
反射光の中に濃淡があらわれます。これを観察すると微小な凹凸を観察する
ことが可能です。この技術と陰影を強調させるシャドーマスク技術を融合する
ことでナノオーダーレベルの表面状態を観察することが可能です。
さらに透明な材料(ガラス材)などの内部の脈理、双晶、研磨痕、うろこ欠陥、
オレンジピール、面タレ、変質加工層、ウエハーなどのウォーターマーク、
クラック、コータームラ、液だれ、表面欠陥などの観察がリアルタイムで可能
になります。
【おすすめ商品のご案内】
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Visible Inspect Scope！ Vスコープ
● 目視確認出来なかった欠陥を可視化する画像観察装置！ ●
～オプティテック ＮＳＶ－１００ ・ ＮＳＶ－５０～
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製品の特徴
・今まで裸眼では確認が困難であったガラス・水晶・サファイアなどの表面に
残るナノサイズの微細な研磨痕・オレンジピールなどを、誰でも簡単に目視
観察・評価が可能になり、表面部検査装置を安価に提供いたします。
この結果、表面粗さの管理・研磨条件が設定可能になり、蒸着後の歩留まり
が確実にＵＰします。
・今まで裸眼では確認が困難であったガラス・水晶・サファイアなどの内部に
生じる脈理・成長縞などを、誰でも簡単に目視観察・評価することが可能に
なり、透明体の内部検査装置を安価に提供いたします。
・今まで裸眼では確認が困難であったシリコンウエハーの表面に生じるクラッ
ク、ディンプル・ウォーターマーク、スリップ、ソーマーク・異物 などを
簡単に誰でも目視観察・評価することが可能になった、シリコンウエハーの
表面検査装置を安価に提供いたします。
・この１台で同時に反射から透過まで多種多様、幅広い観察を実現しました。
また偏光観察ユニットを取り付けることで偏光観察を可能にしました。
・シャドウグラフ法を用いることにより、凹凸のナノサイズをマクロ観察で可
能とし、誰でも簡単に短時間で検出することが可能になりました。
詳細のお問合せやデモ・見積りにつきましては弊社まで、ご連絡をお待ちして
おります。
