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レーザー顕微鏡 LEXT OLS5000

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405nmレーザーの搭載により、微小領域の高分解能な3次元形状観察・計測・粗さ測定が可能なモデルです。

主な特徴

明暗視

光をサンプルへ均一に照射し、サンプルを透過または反射した光を捉える観察方法です。
サンプルの透過率または反射率の違いにより観察像のコントラストが得られる、もっとも一般的な観察法です。

微分干渉

通常では見えないサンプル表面の微少段差を、光の偏光性と干渉性を利用して見る観察法です。
プリズムを用いて照明光を横方向にずらした2つの光線に分離してサンプルを照明します。サンプルから直接反射した2つの光線の差を取ると明暗のコントラストが発生し、微小段差を立体的に観察することができます。

300mmウエハ対応

300mmウエハの全面観察を可能にするストロークの大きなステージを搭載した顕微鏡です。透過照明を組み合わせることにより17インチサイズのFPD検査にも対応できます。

短波長レーザー

可視光より波長の短いバイオレットレーザーを用いて観察することにより、光学顕微鏡よりも高い分解能を得ることができます。

粗さ測定

サンプル表面のワンラインを測定する「線粗さ測定」、面全体を測定する「面粗さ測定」が可能です。
接触式表面粗さ測定機と同様の校正と表面性状粗さパラメータ、フィルタ搭載により、従来の接触式表面粗さ測定機と互換性のあるデータが得られます。さらに非接触のメリットを活かし接触式では難しい柔らかいサンプルや粘着性のあるサンプルの粗さ測定をすることができます。

新機能のご紹介


スマートスキャンは全自動の画像取込機能です。
スマートスキャンならわずらわしい設定(上下限設定・明るさ調整)が不要で、初心者でも「撮影」を1クリックで画像取得が可能です。


従来の約9倍の速度で画像を取得する超高速スキャン機能を搭載し、短時間での画像取得が可能になりました。
また、特定範囲だけをスキャンして宅とタイムを向上させるバンドスキャン機能も搭載しました。


最大625枚の画像貼合わせを従来の約半分の時間で行うことができるようになりました。
また貼合わせの範囲は、矩形だけえなく円形での範囲設定もできます。さらに必要箇所のみの貼合わせも可能になり、作業時間を大幅に短縮することができます。


露出を変えつつ複数の画像を撮影し、これらを合成することで白とびや黒つぶれの少ない幅広いダイナミックレンジの画像を生成します。
コントラストが乏しいサンプルの微細形状も鮮明に観察することができます。

観察画像例

■3次元形状観察・計測・粗さ測定が可能

新開発デュアルコンフォーカルシステムを搭載、従来測ることが難しかったサンプルの測定を可能にました。
また、粗さ測定機能を充実、非接触のメリットを活かしながら接触式表面粗さ測定機と同様の操作性、互換性のある出力結果を実現しています。

【観察像】剃刀
剃刀
【観察像】導光板
導光板
【観察像】ウェハバンプ
ウエハパンプ
【観察像】マイクロレンズ
マイクロレンズ

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