カテゴリー CNC画像測定機 /CNC画像測定システム ニコンインステック

NEXIV VMZ-R3020 / VMZ-R4540 / VMZ-R6555

進化した第3世代のNEXIVシリーズ

多彩な立体部品の寸法・形状をより高速・高精度に自動測定。サンプルに応じたきめ細かな設定が可能。
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NEXIV VMZ-R3020

NEXIV VMZ-R4540

NEXIV VMZ-R6555

測定用途に応じた6タイプの光学15倍ズームヘッド

3種6タイプの光学15倍ズームヘッドをご用意。被検物の大きさや要求精度に合わせ、最適なソリューションを実現いたします。


※総合倍率は、24型TFTモニタをWUXGA(1920×1200画素)モードで設定したときのモニタ上での倍率です。
※1画素のサイズは目安となります。

厚さ0.1mmの透明体も検出

TTLレーザオートフォーカスの新開発により、検出性能が大幅に向上。従来の高速/高精度測定に加え、LCD保護膜等を代表とする微小な透明体の厚み検出も可能になりました。(※タイプAヘッドを除きます)

新レーザーオートフォーカス
新開発センサにより、表面/裏面の信号を分離して正しく検出できます。

カバーガラス(光学8x)/タイプ2ズームヘッド使用時

仕様

モデル VMZ-R3020 VMZ-R4540 VMZ-R6555
ストローク(X,Y,Z) 標準モデル
(タイプ1~4)
300X200X200mm 450X400X200mm 650X550X200mm
TZタイプ
(高倍対物使用時)
300X200X200mm 450X400X200mm 650X550X200mm
TZタイプ
(低倍対物使用時)
250X200X200mm 400X400X200mm 600X550X200mm
タイプAモデル 300X200X200mm 450X400X200mm 650X550X200mm
最小表示単位 0.01μm
被検物最大質量 20kg 40kg 50kg
測定精度(X,Y,Z) EUX,MPE
EUY,MPE
1.2+4L/1000μm
EUXY,MPE 2+4L/1000μm
Z軸測定精度(レーザAF使用時) 1.2+5L/1000μm
カメラ(X,Y,Z) 白黒1/3″CCD
カラー1/3″CCD ※タイプ1、2、Aのみ対応
作動距離 タイプ1~3 50mm
タイプ4 30mm
タイプTZ 高倍対物使用時:11mm 低倍対物使用時:32mm
タイプAモデル 73.5mm(レーザAF部63mm)
倍率 / 視野 タイプ1 0.5~7.5x / 9.33×7~0.622×0.467mm
タイプ2 1~15x / 4.67×3.5~0.311×0.233mm
タイプ3 2~30x / 2.33×1.75~0.155×0.117mm
タイプ4 4~60x / 1.165×0.875~0.07×0.068mm
タイプTZ 1~120x / 4.67×3.5~0.039×0.029mm
タイプA 0.35~3.5x / 13.3×10~1.33x1mm
オートフォーカス イメージAF、レーザーAF(タイプAはオプション)
照明 タイプ1~4 垂直落射、透過、8分割リング照明
※全系統白色LED光源/タイプ1、2、3は3角度、タイプ4は1角度
タイプTZ 垂直落射、透過(高倍ヘッドのみ)、暗視野照明
タイプA 垂直落射、透過、8分割リング照明
※全系統白色LED光源/1角度
供給電源 AC100±10%、50/60Hz
消費電流 5A – 2.5A
寸法(W x D x H)/質量 本体+測定台 700x730x1795mm/約245kg 1000x1340x1820mm/約500kg 1200x1640x1820mm/約665kg
コントローラー 190x450x440mm/15kg
設置寸法(W x D x H) 2100x1100mm 2300x1700mm 2400x2000mm
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