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レーザー顕微鏡 LEXT仕様

LEXTトップへ LEXT特徴 LEXT原理

測定部
構造
外形寸法
質量
試料最大高さ
耐荷重

XYステージ
専用フレーム
464×559×614.5   ※除震台なし
56.9
100mm
10kg
マニュアル: 100×100(mm)
電動: 150×100(mm)
個注ステージ: 300×300mmサンプルも設置可能
対物レンズ
本数
倍率
作動距離
開口数
5本
5x 10x 20x 50x 100x
20.0 10.1 3.1 0.33 0.35
0.15 0.3 0.46 0.95 0.95
観察測定範囲
横(H):μm
縦(V):μm
2,560 1,280 640 256 128
2,560 1,280 640 256 128
モニタ上倍率  
100~
600
200~
1200
400~
2400
1000~
6000
2000~
12000
光学ズーム 1x~6x
共焦点方式 ピンホール
受光素子 フォトマルチプライヤ
測定用レーザ
光源
波長/出力
紫色半導体レーザ
408nm/0.9mW (JISクラス2)
画像取込方法 CFOサーチ
ステップサーチ
画像取込モード Contrast
Mode
Enhance Mode
平面(XY)表示
分解能
1024×1024 (ピクセル)
フレームメモリ
輝度:
高さ:
1024x1024x12bit
1024x1024x16bit
フレームノート 12Hz
平面(XY)測定
最小分解能
測定繰り返し性
0.12μm
分解能=N×λ/N.A. 
N:定数、λ:波長、N.A.開口数
3σ(n-1)=0.03
※対象線幅の限定無し
高さ(Z)測定
測定範囲
最小移動分解能
最小表示分解能
高さスケール
測定繰り返し性
10mm
0.01μm
0.001μm
リニアスケールによるオープン制御
3σ(n-1)=0.05+0.002L→2μm測定時:3σ=0.054
※フルストロークに於いて保証
本体制御
コントローラPCによる

・オートフォーカス   ・オートゲイン   ・バンドスキャン

画像処理/
2次元画像処理/
3次元画像処理
コントローラPCによる

・幅測定→自動測定可能   ・段差測定  
     ・表面積測定
・体積測定            ・線粗さ測定       ・面粗さ測定
・レポート機能          ・2チャンネル表示

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