カテゴリー 非接触形状測定機 /ステージ走査型レーザープローブ方式
非接触三次元測定装置 NHシリーズ
三鷹光器

非接触三次元測定装NHシリーズ

NH-3Ns/4Ns

◆スタンダード機
断面・三次元・空間座標・アライメントなど多数の機能を搭載した標準システム

NH-3SPs

◆最高精度モデル
測定精度を極めたZ分解能1nmの高精度モデル。レンズ・光学金型形状測定に対応

NH-5Ns

◆スタンダード機
門型構造で精密金型など大型重量物の高精密測定を実現

装置名 NH-3Ns NH-4Ns NH-3SPs NH-5Ns
スケール分解能(X,Y) 0.1um 0.1um 0.01um 0.1um
スケール分解能(高さ方向) 0.01um 0.01um 0.001um 0.01um
稼動範囲(X,Y) 150x150mm 250x200mm 150x150mm 300x400mm
稼動範囲(高さ方向) 10・15・20・100mm以上から選択可能
対物レンズ 10x,20x,50x,100xレンズ標準搭載
OS、ソフトウェア Windows10 日本語、英語
オプション例 ・急傾斜測定ユニットSE(スティッチング)ステージ
・光学特性評価MA機能(透過率・焦点位置・ビームプロファイル) 
・非球面形状評価ソフト ・画像処理機能 ・レンズアレイ/マトリクス測定ソフト
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