Precision apparatus special trading company 
 
TOPへ | 製品紹介 | 企画設計 | 採用情報 | 企業概要 | お問合わせ
 平素は格別のお引立てを賜り、厚くお礼申し上げます。
本年のセミコンジャパンにおきまして、ワイドギャップ半導体・パワーデバイスなど研究開発・製造・量産に関わる測定ソリューションを提案致します。新たなデバイスに取り組む際に、測定の課題に直面する事がしばしばあります。企業様が直面しております課題・そしてニーズにマッチした製品を提案致します。
また海外事業を展開する企業様に、弊社の海外ネットワークをご紹介致します。
<菱光社の海外ネットワーク : 台湾/中国/タイ/ベトナム>
海外事業を既に展開されている、これから海外進出をご検討されている方、是非弊社へお声掛け下さい。
「お・も・て・な・し」の心で、ご来場をお待ち申し上げます。
2013年11月 兜H光社


 
●三鷹光器梶@非接触表面性状測定装置 PF-60
()nanofocus 非接触高速三次元測定機 μSprintDT
●潟tォトニックラティス 透明基板対応マッピングエリピメータ ME210-T
●潟tォトニックラティス 大面積サンプル対応2次元複屈折評価 PA-110-t
●兜H光社 自動線幅測定システム TARCY LS200
●潟Rアーズ リフロースコープ・マイクロビュー core9046a
   
●潟jコンエンジニアリング 縮小投影露光装置ミニステッパー NES-h04/h06
●椛蜩本科研 マスクレス露光装置 MXシリーズ
●轄K和電熱計器  全反射蛍光X線ウエハ表面分析装置 K-TRX
●轄K和電熱計器 X線・膜厚・密度・組成測定装置 K-MSX
●潟gプコンテクノハウス チップ外観検査装置 Vi-SW200C
●潟_ルトン レジスト剥離装置
●潟jコンインスティック 白色干渉顕微鏡システム BWシリーズ

 

三鷹光器製NHシリーズで培ったポイントオートフォーカスによる高精度測定を継承しながら、 測定速度は従来の50倍速の高速測定、そして安価な価格設定にしました。
大面積の形状測定、微細部の粗さ測定と、最高のパフォーマンスを提供いたします。

【測定例】



毎秒100万点のデータを取得する超高速センサーとステージを組合わせて、超高速三次元測定を行います。従来、時間を有していた大面積の三次元測定を可能にします。
50×50mmの全面スキャンを約1分で測定。
全数高さ検査やウェハの反り・バンプ測定など、短時間・大面積測定からかつてないサンプル欠陥情報が得られます。

【測定例】



独自のフォトニック素子の並列処理方式によりエリプソメータから回転駆動を取り除きました。
ME-210-Tでは1000点/分の高速測定により、スピンコート時の微小膜ムラを捉えることに加えて、最小20μmの微小領域評価も可能です。
さらに今回、従来では測定する事が出来なかった透明基板上の薄膜測定もレーザー光を絞る事で薄膜測定を可能としました。
 

【測定例】



XY自動ステージにより画像をつなぎ合わせる事で、従来では難しかった大面積の複屈折評価を可能とします。
最大8インチまでのサンプルに対応。ガラス基板、サファイヤウェハの内部応力の評価に。
        

【データ取得時】



1μm以上の線幅にて3σ=30nmの再現性を達成。お手持ちの顕微鏡への後付けが可能です。画面に対して測定対象の線幅が斜めになっていたとしても、線幅として測定できるアルゴリズムを持っております。
また、自動搬送自動測定まで要望/用途に合わせたシステムアップを提案します。

【測定例】



リフロー炉内の環境をマイクロサイズに凝縮した『マイクロリフローユニット』です。
最高加熱温度は400℃、充実した解析ソフトウェアにより、様々な観察機器と組み合わせることで、加熱中の電子部品の変形や、コネクタの反り、ハンダのヌレ性などをリアルタイムに観察する事が出来ます。

【観察例】


   
●200mmウェハ対応
●深い焦点深度
●タイコウェハ対応
●裏面アライメント機能
  ※オプション
●ダイレクト露光
●最小線幅3μm
●最大露光エリア
  550×650mm
 
●カラー画像処理
●ズレ・異物・欠陥の検査
●変色・色ムラの検査
●バッチによるリフトオフ洗浄
●カスタム対応可能
●ラボ〜量産レベルまで対応
 
●膜厚・密度・ 組成比測定
●XRR、GI-XRF、HA-XRFを
 搭載可能
 
●ウェハ表面の金属汚染測定
●最大12インチ対応
●Na〜U対応のマッピング測定
 
●Z軸分解能1pm
●シボ加工面の測定可能
●光沢・非光沢面共に
  測定可能
※この他にも海外製品や海外商談など
 ブースにてご相談
承っております。


 
Copyright (c) 2013 Ryokosha Corporation. All Rights Reserved.