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非接触表面・層断面形状計測システム　VertScan2.0

光干渉方式の高速・高精度・高垂直分解能を生かし、計測・解析ソフトを一新したコストパフォーマンスに優れたシステム
菱化システムでは用途に合わせたシステムのご提供が可能。RD用の多機能型から、検査･品質保証用の中型機、インライン用大型機まで、幅広くご提供します。
非接触表面・層断面形状計測システム　VertScan2.0 RBX3300H LITE
非破壊・非接触
視野サイズに関係なく、

■優れた垂直分解能／0.01nm(Phase mode)
■最大視野／2.5×1.9mm（オプション）
■高精度／88nm段差再現性 σ<0.1%

□定価：680万円（標準仕様）
　■ RBX 3300H Lite 設置仕様
  標準仕様 オプション
タレットハウジング マニュアル駆動の7点タレット  
内部レンズ 1.0× 0.5×
対物レンズ 10× 5×、20×、50×
CCDカメラ 1/3" 1/2"
測定画素数 最大640×480 −
縦方向駆動方式 ピエゾ −
測定レンジ 80μm −
コンピューター・OS Core 2 Duo/Windouws XP −
　■ RBX 3300H Lite 層断面解析（オプション）
分離可能間隔 光学長　1μm以上
Z軸分解能 10nm
段差再現性（1σ） ＜ 0.5％
　■ RBX 3300H Lite 測定モードと測定性能
測定モード Sq分解能 段差再現性（1σ） 段差測定正確性
Phase モード 0.01nm ＜ 0.1％  
Wave モード 0.1nm ＜ 0.5％ ＜ 0.75％
Focus モード 5nm ＜ 0.5％ ＜ 0.75％
　■ RBX 3300H Lite 測定領域仕様（単位：μm）
  ×5 ×10 ×20 ×50
1/3" CCDカメラ        
1×チューブ 1089×817 544×408 271×204 108×82
0.5×ズームレンズ使用時 2178×1633 1089×817 544×408 217×163
1/2" CCDカメラ        
1×チューブ 1442×1081 721×540 360×270 144×108
0.5×ズームレンズ使用時 2884×2163 1442×1081 721×540 288×216

※CCDの画素サイズは約±5％のバラつきがあるため、測定領域は多少変わります
 
※従来通り観察のための顕微鏡としても使用可能
※Core 2 Duoは米国インテル社の登録商標です
※Microsoft、Windows XPはマイクロソフト社の登録商標です
※記載の仕様・外観は予告なしに変更する場合があります


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