Precision apparatus special trading company 
 
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線幅測定に特化したアプリケーション
簡単な操作で人的誤差を減らす事が可能な線幅測定に特化したアプリケーションです。
エッジは輝度のしきい値にて決定するため、レジストパターンの測定にも対応可能です。


簡単な操作で線幅測定
 
測定のパラメータを設定する事で誰が行っても同じ測定値を得られる為、
人的誤差を低減させられます。






既存顕微鏡への取り付け可能
 
基本構成はカメラとPC(ソフト)となっているので、お持ちの顕微鏡へ取り付ける事で
観察用途から線幅測定顕微鏡まで機能拡張が出来ます。





画面上でのパターン方向を選ばない
 
画面上で線が斜めに置かれても正しく線幅を測定する事が可能なので、
作業効率の向上を計れます。

@測定エリア(緑線)
  設定エリアにて測定位置を指定する。

A近似線(黄色)
  測定エリアより検出されたエッジから近似線を引く。

B中心線(青色)
  近似線より線幅の中心線を求める。

C近似線と交点を求める(赤丸)
  測定エリアと中心線の交点から中心線に直行する線(黒線)
  を引き、それぞれの近似線と交点(赤丸)を求める。

D線幅測定
  それぞれの交点座標から線幅を求める。





■デジタルカメラ部
型    式
AR-630
外    観
映像方式
3CCDカラーカメラ
素子サイズ
1/1.8型 CCD
総画素数
1688H×1248V 約210万画素
有効画素数
1624H×1232V 約201万画素
スレームレート
30fps
■画像測定部
測定再現性
3σ=0.03μm以内
※ 画面上で線幅の方向を選ばない
※ スタンダードパターン、×100対物レンズ
最小測定線幅
1μm ※×100対物レンズ
■オートフォーカスユニット(オプション)
合焦精度
対物レンズの焦点深度の約1/3
AF検出位置
画像視野内の位置と領域の設定でAF可能
Z軸 制御
専用5相ステッピングモータカプラ使用
Z軸 分解能
0.005μm ※顕微鏡により異なる場合有

 
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