Precision apparatus special trading company　
 
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主 な 特 徴
■ フォトニック素子を利用したエリプソメータ http://www.ryokosha.co.jp/sa101-02.html
■ 高精度
分解能0.1nm、測定再現性1nmを実現
■ 速い　【従来の1/10】
CCD素子にフォトニック素子を貼り付けることにより、回転機構が必要ない。自動ステージと組み合せてマッピング評価が可能
■ コンパクト
駆動機構が無いためコンパクト設計。Aサイズ、約3kg
■ 安価
機構が単機能のため価格が安価

 

　
株式会社菱光社
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