Precision apparatus special trading company 
 
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エリプソメータ
高速マッピングエリプソメータ ME-210外観 高速マッピングエリプソメータ ME-110外観 PCAエリプソメータ SE-101外観
 高速マッピングエリプソメータ

【特徴】微小領域からウエハー全面の膜厚分布まで測定可能とした、最新鋭の機種となります
◎横分解能20μm角

【用途】ウェハーのレジスト膜厚、熱酸化膜厚の評価、パターン膜厚
ME-110
 高速マッピングエリプソメータ


【特徴】極薄膜の膜厚&屈折率分布の高速測定

【用途】ウェハーのレジスト膜厚、熱酸化膜厚の評価
SE-101
 PCAエリプソメータ


【特徴】簡単操作、ポータブル、低価格、脱着可能なヘッドユニット

【用途】ウェハーのレジスト膜厚、熱酸化膜厚の評価

 

PCAエリプソメータ SE-102外観 ME-210の測定事例

 PCAエリプソメータ

【特徴】膜厚や屈折率の、線分布や 面分布を、高速に測定

【用途】半導体ウエハの微細パターンやバイオセンサーの薄膜評価など、様々な試料の膜厚分布を測定。


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