Precision apparatus special trading company
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主 な 特 徴
1.
数10μmサイズの微小領域の複屈折分布を定量評価解析を行うことが可能
2.
130nm(λ/4)までの位相差を測定可能。
3.
透過測定
4.
面分布測定結果から様々な統計解析機能
5.
text、csvフォーマットでのデータ出力
株式会社菱光社
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