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コンフォーカルNEXIVの優れた点
@測定解析による一括測定 | A専用レンズの採用 | B広範囲一括測定 | CXY寸法測定 | D自動測定
VMR-K3040ZC | VMZ-K6555 Type-H/Type-S
CF-NEXIVでは、ティーチングプログラムを解析して一括で測定できる測定内容はまとめて測定してしまう、という機能があります。  具体的には、従来のNEXIV(に限らず一般的な測定機)では下図のような測定を行う場合は端から順にステージを動かしながら測定していきますが、CF-NEXIVではプログラム実行前に測定内容を解析し、1画面内に収まる測定内容であれば、全て一回で測定してしまいます。
通常の測定機では指定した通りにしか動かないので、ステージを動かしながら順番に測定する。上の図では10サンプルあるので、10回ステージが移動する
CF-NEXIVでは測定内容を解析し、視野にできるだけ測定対象が多く収まるように移動するので、移動が少ない。 さらに、視野内の測定は一括で行ってしまうため、さらに測定速度が速くなる
通常のNEXIVでのエッジ検出
通常のNEXIVではエッジを検出するのもプログラム通り順番に測定する
コンフォーカルNEXIV機能紹介A
CF-NEXIVでは一つの視野に入る測定個所は一括で測定してしまう。さらに、図の中央のワークのようにワークが視野からはみ出す場合でも、最初の測定で左のワークと中央のワークの左半分だけ測定し、次の測定で中央のワークの右半分と右側のワークを測定する、という具合に少しでも少ないステップで測定するように測定の順番と測定位置を最適化する。
3視野にまたがってのプログラム作成
コンフォーカルNEXIV機能紹介B
CF-NEXIVでは、測定プログラム自体は視野の中央で測定するように設定しても、プログラム実行時には測定するワークが少しでも多く画面内に収まるように、プログラムを解析して測定位置も最適化してしまう
@で紹介したように、CF-NEXIVではできるだけ測定個所を一つの視野に入れることで測定の高速化を実現していますが、そのためにレーザー顕微鏡などの測定機と比べて低倍のレンズ(1X、3X、7.5X)を採用しています。  通常は低倍レンズで測定するとN.A.が低いために十分な精度を出すことができませんが、CF-NEXIVでは専用レンズを開発し、低倍による広視野と高い測定精度を両立させています。  さらに、ワーキングディスタンスを広く取ることで、凹凸の多いサンプルも接触の危険なく測定していくことが可能です。  このように、測定機に最適なレンズを開発してしまうことは、レンズメーカーでしかできないアプローチといえます。
倍率 測定範囲 W.D
1X
8 x 6 mm
24 mm
3X
4 x 3mm
24mm
7.5X
1.6 x 1.2 mm
5mm
広い視野を一括で測定できることで、測定時間の短縮の他、従来では測定が難しかった測定内容も簡単に測定することができます。  たとえばバンプやワイヤーの最大点を測定したい場合、従来の測定機では多点を測定して最大高さを求めなければならなかったのに対し、CF-NEXIVでは広範囲の測定データから「この範囲で一番高いところを測定結果とする」と指定するだけで、簡単に最大点を求めることができます。
ワイヤ測定の例。 スキャン式の形状測定機では端から端まで測定しなければもっとも高い点は求めることができない。また、レーザー顕微鏡などでは測定エリアが狭いため、同様に端から端までスキャンして高さを求めなければ最高点は求められない
コンフォーカルNEXIV機能紹介C
CF-NEXIVでの測定例。
CF-NEXIVでは広い視野で広範囲を一括で測定できること、その中から最大点を抽出するツールなどが充実しているので、一回の測定で簡単に複数箇所の高さをまとめて測定できる。 この例では、赤い四角が頂点検出のツール。四角で囲んだエリアの中の最も高い点のXYZ座標を出力することができる。 CF-NEXIVでは、このように「囲ったエリア内の最大高さ(もしくは最小高さ)」を簡単に測定できるので、ワイヤ高さやバンプ高さなど、全体の中でどこが一番高いのか分からない場合でも簡単に高速に測定することができる。
コンフォーカルNEXIV機能紹介D
バンプの高さ測定もCF-NEXIVの得意分野といえる。 バンプ頂点の高さを測定する場合、通常は外径中心を測定するが、形状が崩れているバンプだと外径中心がかならずしもバンプ頂点とはならない。 こういった場合は頂点付近をスキャンしなければならず、測定に時間がかかってしまうが、CF-NEXIVでは広い範囲を一括で測定可能なので、左図のように「このエリアで一番高いデータのXYZ座標を測定結果とする」というツールでバンプを囲ってやるだけで、自動的に頂点が測定結果となる。
コンフォーカルNEXIV機能紹介E
この場合も、一視野に複数のバンプをおさめることができれば、CF-NEXIVが測定位置と範囲を最適化してまとめて一括で測定可能
前の項目でも触れましたが、CF-NEXIVは全ての測定を自動化することができます。
レーザー顕微鏡や干渉計、レーザースキャン式測定機などではおおむね測定終了後に評価ソフトを起動してデータ解析という操作の流れだったり、A地点の高さとB地点の高さの比較などの複数のデータを比較したりする事ができなかったりする事が多く、どちらかというと品質管理や研究開発などで多く使われていたのに対し、CF-NEXIVでは各測定データをリンクさせて演算・評価を行ったり、データ演算自体を高度に自動化することができます。  また、当然自動ステージを標準仕様としていますので、複数箇所の測定を完全に自動で行うことができます。
従来の高さ測定機では自動化の面や測定時間の面で難しかった量産品の検査にも対応できるタクトと機能を備えており、生産品への信頼性の付与や検査の省力化に役立ちます。
広い視野を一括で測定できることで、測定時間の短縮の他、従来では測定が難しかった測定内容も簡単に測定することができます。  たとえばバンプやワイヤーの最大点を測定したい場合、従来の測定機では多点を測定して最大高さを求めなければならなかったのに対し、CF-NEXIVでは広範囲の測定データから「この範囲で一番高いところを測定結果とする」と指定するだけで、簡単に最大点を求めることができます。






 
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