Precision apparatus special trading company 
 
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平素は格別のお引立てを賜り、厚くお礼申し上げます。                 
測定計測展2013におきまして、非接触三次元測定装置・画像寸法測定システム・複屈折評価システムを出展致します。
会場でのサンプル測定も受け付けております。是非、弊社ブースへお越し頂けますことを心よりお待ちしております。
2013年9月 兜H光社





毎秒100万点のデータを取得する高速ZセンサーとXYステージを組合せ、高速三次元測定を行います(□50mmの範囲を140秒)。    
従来、時間を有していた大面積の三次元測定を可能にします。
全数高さ検査やウェハの反り・バンプ測定など、短時間・大面積測定からかつてないサンプル欠陥情報を得られます。
ウェハ反り測定 ラボチップ プレス加工品



三鷹光器製NHシリーズで培ったポイントオートフォーカスによる高精度測定を継承しながら、 測定速度は従来の50倍速、そして安価な価格設定にしました。
顕微鏡・高精度自動XYステージの組み合わせで、ワーク表面の色や反射率の影響を受けずに、対物レンズ視野外の測定を実現しています。


マイクロレンズ 回折格子 ウェハ反り



高速に2次元複屈折を定量及び視覚的な面分布として測定を行います。
射出成形品やフィルム成形においての研究開発にご活用下さい。
 ※最大A4サイズまで測定対応

透明射出成形品 
評価例
 



1μm以上の線幅にて3σ=30nmの再現性を達成し、お手持ちの顕微鏡への後付けが可能です。
画面に対して測定対象の線幅が斜めになっていたとしても、線幅として測定できるアルゴリズムを持っております。





株式会社菱光社
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