MMシリーズのご紹介

定評ある光学技術と最新の制御技術により
これまでにない精密高さ測定を実現

高さ測定精度の向上を可能にした新機能

■デジタル画像測定を実現

顕微鏡用に開発されたニコンのデジタルカメラ及び測定支援システムE-MAXシリーズとの組み合わせでデジタル画像測定を実現

■左右両側から操作できる上下動ハンドル

状況に合わせて左右どちらからでも操作できる両軸タイプの粗微動ハンドルを採用。作業効率が大幅にアップします

■コントローラを搭載

本体背部にMM-400/800シリーズの頭脳であるコントローラを搭載

■12×8ステージを新開発（MM-800専用）

徹底的なCAE解析に基づいてボディ全体の剛性を高めたことにより、小さなスペースでの大型ステージ搭載を実現。測定対象の大型化に対応しており、特にMM-800では300×200mmの大ストロークのステージが搭載可能です

■TTLレーザオートフォーカス（AF)

定評あるNEXIVのTTLレーザオートフォーカス機構を搭載。
高性能かつスピーディーな焦点合わせ及び高さ測定が可能。

■電動上下動

フルストロークの電動上下機構を採用。上下動操作は専用コンソールで簡単に正確かつスムーズに行えます。

■フォーカスエイド（FA)

スプリットプリズム方式のフォーカスエイド機構を新開発。鮮明なパターンによりZ軸の正確なピント合わせが可能になり対物レンズの焦点深度による高さ測定誤差を低減できます。被検物の表面性状に応じて明暗2種類のパターン切替えが可能。

測定対象を広げる、照明性能の向上

■無段階照明装置を内蔵

E-MAX使用時には本体のボリュームに触れることなくパソコンから調光が可能。画像測定に求められる同一条件での測定を実現します。

■LED照明装置

LED照明装置標準装備。高輝度白色LED照明は色温度が一定で調光反応が速く、高精度な測定が効率よく行えます。低消費電力・長寿命です。

■8方向LEDリングライト　CYN-E1（MMタイプ）

樹脂成型品やドリル刃など通常の照明では見えにくかったサンプルを観察及び測定するための照明装置。入射角30°の8方向ON/OFF選択式大光量LEDで測定箇所のエッジを際立たせます。測定顕微鏡用対物レンズ1×、3×、5×、10×に対応。

DP-E1、E-MAXシリーズとの連携を強化

測定からデータ活用までをトータルに考えた総合測定システム構築を可能にする、最新のデータ処理/測定支援システムを用意しました！

■データ処理装置DP-E1

• 測定済みデータの確認参照ができ、操作性が大幅に向上
• カウンタ表示を取り込んだ、省スペースタイプ（1μm、0.1μm、0.01μm切替え可能）
• 320×240ピクセルの見やすい液晶画面で、使いやすさが大幅向上

■測定支援システムE-MAXシリーズ

• ニコンのデジタルカメラ及び測定顕微鏡との組み合わせにより、デジタル画像測定を実現
• デジタルエッジ検出、サーチ機能など強力な測定ツールを搭載
• 電動ユニバーサル反射照明装置の各種設定や制御が可能
• ノートパソコンにも対応

高倍率でクリアな画像が得られるユニバーサルタイプ

ユニバーサルタイプ専用のオートフォーカスにより、高精度な高さ測定が可能になりました。高NAで低フレアなCFI60光学系と多彩な照明でさまざまなサンプルに対応でき、フル電動の照明コントロールも可能です。明視野、暗視野、簡易偏光、微分干渉観察に加え、落射蛍光観察が可能になりました。

照明&AFコンソールで集中操作

照明＆AFコンソールでは、オートフォーカス操作、電動ユニバーサル反射照明装置や各種光源の制御、ユニバーサル電動レボルバや開口絞りなど、主要な操作が1箇所で行えます。

■オートフォーカス(AF）

ユニバーサルタイプでは、新開発のTTLレーザオートフォーカスを搭載可能。
高精度かつスピーディーな焦点合わせ及び高さ測定が実現しました。

■フォーカスエイド(FA）

スプリットプリズム方式のフォーカスエイドを新開発。より正確なピント合わせが可能になり、対物レンズの焦点深度による測定誤差を低減することができます。（専用照明装置が必要）

■ユニバーサル電動レボルバ

ユニバーサル電動（LV-NU5AU5Aレボ）により、対物レンズ切替えが簡単に行えます。照明＆AFコンソールから操作できます。

多彩な照明装置をラインアップ

ユニバーサル照明装置はマニュアルタイプに加え新たに電動タイプをラインアップ。明視野観察用には白色LED照明装置を用意。測定目的に合わせてお選びいただけます。

■電動ユニバーサル反射照明装置　LV-UEPI2A

照明条件を正確に再現するために、照明切り替えと開口絞りの電動化および照明光量制御を実現。開口絞りは対物レンズと観察照明方法に合わせて自動的に最適化されます。また、サンプルや目的に応じて変更することも可能になりました。

■ユニバーサル反射照明装置　LV-UEPI2

明視野、暗視野、簡易偏光、微分干渉観察に加え落射蛍光観察が可能。視野絞り・開口絞り・シャッタとの最適照明条件運動機能を備えています。

■ユニバーサル反射照明装置　LV-UEPI

明視野、暗視野、簡易偏光、微分干渉観察が可能です。明視野から暗視野への切り替えときに、視野絞りと開口絞りを自動開放。再び明視野観察に戻る場合は直前の視野絞り、開口絞りを再現します。

■白色LED照明装置　LV-EPILED

色温度が一定で測定に悪影響を及ぼさない白色LED照明を採用した、軽量、コンパクトな明視野観察専用のLED照明装置です。

■FA反射照明装置　LV-UEPI　FA

フォーカスエイドを搭載した白色LEDユニバーサル反射照明装置です。より高精度な高さ測定が行えます。

■プリセンタランプハウス　MM-LH50PC

12V50Wの定格ながら12V100W同等以上の明るさを実現。特に、高倍時の明るさが大幅に向上しています。環境に配慮した低消費電力の新しいハロゲン光源です。

高性能対物レンズCFI60シリーズの使用が可能になり、光学性能がさらに向上

■透過波長領域をUVにまで拡張した標準対物レンズ　CFI　LU　PLAN　FLUOシリーズ

対物レンズの高NAと長作動距離化の両立というニコン独自の発想はそのままに、多様化する研究・解析・検査ニーズに向け、透過波長領域をUVにまで拡張したCFI　LU　PLAN　FLUOシリーズを標準対物レンズとして新たにラインアップ。明視野、暗視野、簡易偏光、微分干渉、可視域だけでなくUV領域を用いる落射蛍光という、すべての観察方法がこの対物レンズ1本で可能となりました。高分解能で明るく、使いやすい光学系を提供します。

CFI LU PLAN FLUOR EPIシリーズ

CFI LU PLAN FLUOR BDシリーズ

■ガラス基板厚補正機構付き対物レンズ　CFI　L　PLAN　EPI　CRシリーズ

液晶ディスプレイを始めとするFPD用ガラス基板の薄型化とデバイスの高集積・高密度化に対応するため、CFI60光学システムにCFI　L　PLAN　EPI　CRシリーズを新たにラインアップ。補正環方式の採用により、0～1.2mmまで（100×は0～0.7mmと0.6～1.3mmまでの2種類）を連続的に補正します。NAも100×では最大0.85を実現しており、ガラス基板の影響を受けることなしに、セルやパターンの高コントラストな観察が可能です。

■環境に対する配慮

CFI　LU　PLAN　FLUOシリーズ、CFI　L　PLAN　EPI　CRシリーズには、鉛・砒素・有害物質を含まないエコガラスを使用し、時代に即した環境への配慮も施しています。

対物レンズ50×の場合 ガラス厚補正なし、0.7mmに補正した場合の比較図
ガラス厚の補正なし	ガラス厚を0.7mmに補正

■三眼チルト鏡筒

チルト機構付きの正立三眼境筒LV-TT2三眼チルト鏡筒（固定レチクル内臓）を開発。使用状況や測定者の体格、測定姿勢に合わせて最適なアイレベルが得られます。光路切換比が100：0/20：80なので、モニタに画像を映しながら測定することもできます。

■選べるレボルバ

・高耐久性ユニバーサル電動レボルバ
新しいクリック機構と新制御方式によって高耐久性を実現したユニバーサル電動レボルバLV-NA5Aレボを用意しました。


・マニュアルレボルバ
観察方法に合わせてお選びいただけます。対物レンズ情報を最大5本分登録できます。
←左より、C-N6レボ（明視野）、L-NBD5レボ（明暗視野）、L-NU5レボ（ユニバーサル）

■照明＆AFコンソール

照明＆AFコンソールは、電動ユニバーサル反射照明装置や各種光源、ユニバーサル電動レボルバやTTLレーザオートフォーカスを操作できます。E-MAXシリーズは接続時は自動切替えも可能です。

【連続可能ユニット】

• 電動ユニバーサル反射照明装置　LV-UEPI2A
• TTオートフォーカス　U-AF装置
• ユニバーサル電動レボルバ　LV-NU5A U5Aレボ
• 透過/反射照明