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Micro Electro Mechanical Systems

MEMS加速度検査装置外観

INDEX:
  ■MEMS(3軸加速度センサー)校正・検査装置
      ・システムバリエーション
  ■MEMS用検査装置
      ・MEMS 3軸加速度センサー量産用校正・検査装置ベースモデル
      ・ICソケット プローブユニット
      ・角速度センサー対応
      ・ご相談ください!

「MEMS加速度センサー検査装置」は、
経済産業省の平成18年度中小企業・ベンチャー挑戦支援事業のうち実用化研究開発事業補助金の対象事業となりました。
「MEMS加速度センサー検査装置」は、
平成18年度の東京都中小企業振興公社の可能性評価制度により推奨事業に選定されました。                
 MEMS加速度センサー検査装置
XYZ3軸共0〜360°任意制御での検査を実現しています。
 ・2軸:0〜360°回転の簡易型 
 ・3軸:0〜360°任意回転型
-40℃〜+85℃での自動検査を実現しています。
センサーデバイス形状に対応したソケットまたはプローブユニットを提供します。
オプション:SECS/GEM通信インターフェイス

テストヘッド及びテスト内容についてはお客様のご要望に応じてシステム構築致します
MEMS加速度検査装置構造図
 
 
  ▼ システムバリエーション

メカニズム 簡易型 360度任意回転型
回転軸 簡易型1軸姿勢制御システム 360°任意回転型姿勢制御システム
1軸
0〜360度回転の簡易型 制御イメージ
2軸
0〜360度任意回転型 制御イメージ
テストヘッドの着脱 マニュアル マニュアル マニュアル 自動
チャンバー 無し 付き 付き
(予冷予熱部なし)
付き
(予冷予熱部あり)
データ伝送 有線式 有線式 無線式or有線式 無線式or有線式
姿勢精度 ±1.0度
※指定可
±1.0度
※指定可
±0.5度
※指定可
±0.5度
※指定可
テスト温度 室温 -40℃〜+85℃ -40℃〜+85℃ -40℃〜+85℃
テスト内容・項目 指定による 指定による 指定による 指定による
装置例 右45度回転イメージ
右45度回転 左45度回転


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