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エリプソメータとは、測定物にレーザ光を斜めに当てた 反射光の偏光状態から、測定面の極薄膜の膜厚や屈折率を測定する評価システムです |
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２つの偏光成分の反射特性のズレが、それらを合わせた光線の偏光変化としてあらわれることを利用した、非常に高感度な測定手法です。
しかしながら、偏光の測定には光学フィルターの回転機構が必要なことから、装置が大きくなりやすく、調整や校正が難しいなどの欠点もありました。 |
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フォトニック結晶を応用した偏光センサーなら、こうした欠点を解決することができます。
ME-210で用いられる偏光センサーは、CCDセンサーとフォトニック結晶で作られた高集積偏光フィルタとで構成されます(右図)。
向きの異なる偏光フィルターを通過した画素情報を演算することにより、瞬時に偏光計測が行われます。更に偏光を計算できる単位ユニットを並列配置することにより、従 来のエリプソメータのセンサーが3000個も並んだ機能を、たった一つのCCDのサイズの中に凝縮することができました。
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最新式の偏光センサーの採用により、高速測定に加えて微小領域の測定が可能になり、更に回転駆動部が不要になったことにより校正の手間が大幅に削減されました。 サンプルが動いていても測定できる特徴を活かして、サンプル移動ステージとの組み合わせにより、高速＆高解像度のな２Dエリプソメータが実現しました。 |
