カテゴリー 蛍光X線分析装置 幸和電熱計器

K-TRX 全反射蛍光X線 ウエハ表面分析装置

装置概要

300mmまでのウエハに対応した全反射蛍光X線装置。
半導体ウエハ等の金属汚染を評価する装置です。

装置特徴

測定元素Na~Uまでを対象とし、マッピング機能及びエッジ測定機能を搭載。
新開発の角度調整機構により高スループットを実現しております。

アプリケーション

プロセス前後の半導体ウエハ金属汚染確認。
ガラス基板等のパーティクル系金属汚染確認。

主な仕様

多元素同時測定 NaからUまでの元素を同時に測定できます
非破壊分析 X線による非破壊の測定です
簡単測定 測定からレポート作成まで自動で可能
マッピング機能 面内汚染分布の測定が可能です
エッジ測定 エッジ部の測定に対応しています
高スループット 新開発の角度調整機構により、高スループットを実現
低ランニングコスト 封入型X線管球と窒素レスX線検出器の組合せ
省スペース サイズ約2.4m2?/ ~12インチウエハ対応
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