| Precision apparatus special trading company |
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■LEDの外観検査に最適
- ■上位機種の豊富な性能・機能を継承
- ■普及価格を狙ったハイコストパフォーマンス機
- ■高速ピッキング機能
主なオプション機能
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■リング照明、透過照明装置
- ■不良チップの高速ピッキング、マーキング
- ■オフライン・レビューシステム
各種のエキスパンドウェーハに対応
ダイシング／スクライブ
プリエキスパンド
エキスパンド
主な仕様
| 項 目 | 仕様／概要 |
|---|---|
| ウェーハ形態 | テープフレーム付、グリップリング付 |
| ウェーハサイズ | 2〜6インチ（検査エリア：150mm以下） |
| 細小分解能 | 0.6μm |
| 装置寸法（mm） | 1290W×1200D×1700H |
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