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非接触表面性状測定装置 FP-60
■ スキャンAFによる高速測定
  8000点の測定点数が僅か15秒で!!
■ 面領域での形状と粗さj評価
■ 卓上でコンパクト、装置重量31kg
■ 半導体チップや基板の平坦度評価に
スキャンニング用高精度自動XYステージとZ軸高さ 測定用のポイントオートフォーカス式顕微鏡の組み合わせで構成され、ワークより反射したレーザスポットをリアルタイムに検出してAFセンサ中心に結像する様、AF軸機構部を用いてZ軸高さの位置決めをしています。 この測定法はワーク表面の色や反射率の影響を受けず、対物レンズ視野外の広範囲測定を実現します。
PF-60測定原理図
  X Y AF Z
可動範囲(m m)
60
600
10
60
分解能(μm)
0.1
0.1
0.01
0.1
測定精度(μm)
2+4 L/1000
2+4 L/1000
0.3+0.5 L/10
L=測定長mm

その他 画像キャプチャ機能
MitakaMap-ST
3点式防振パッド

■【断面・寸法評価】V溝形状の解析例(合否判定)
【測定データ】V溝形状の解析
■【3次元・寸法評価】 
【3D測定データ】ガイドレール溝、マイクロレンズ、成形品のフローマーク
■【断面・寸法評価】V溝形状の解析例(合否判定)
粗さ標準片(Type D1)
粗さパラメータ PTB触針式 PF-60
算術平均高さ(Ra)
0.227
0.228
0.001
最大高さ(Rz)
1.50
1.56
0.06
粗さ標準片:Type D1(ISO5436-1)
校正機関:PTB(ドイツ)
測定法:触針式
スタイラス半径:5μm
評価長さ(In)=4mm
カットオフ値(λc)=0.8mm
【測定データ】粗さ標準片
■【評価】国際規格(ISO)に準拠した粗さ/形状評価】
ソフトウェアMitakaMap−STを標準装備
MItakaMap-STは評価手順をマクロ化出来る 事で人的誤差を無くし、且つ、レポート作成機能も充実しております。
高速・大型費接触三次元測定装置 PF-600外観
XY軸600mm可動範囲の超精密ステージと0.01μmの高さ分解能を持つポイントオートフォーカスプローブにより実現した高速・大型非接触三次元測定装置で、大型化高精度化する超精密部品の寸法・形状・面領域を高精度に測定できます。
  X Y AF Z
可動範囲(m m)
600
600
10
120
分解能(μm)
0.1
0.1
0.01
0.1
測定精度(μm)
2+4 L/1000
2+4 L/1000
0.3+0.5 L/10
スキャンAFで広範囲・高精度測定を実現! 形状除去により反りに埋もれたμmレベルのうねり形状を抽出できます。
平面ガラスのうねり測定
【3D測定データ】形状成分除去によるうねりデータ
大型望遠鏡の非球面ミラーやレンズ形状も数十nmレベルの精度でダイレクト測定!
非球面ミラーの形状測定
1) 凸双曲面ミラーの断面形状
  φ250mmサグ量3.6mm
  R=-1911mm K=-3.447
【測定データ】凸双曲面ミラーの断面形状
2) 設計形状との誤差
 Z方向の誤差:1.59μm p-v              0.47μm rms
【測定データ】設計形状との誤差
3) ベストR形状での誤差
         (R=-1911.8mm)
 Z方向の誤差:0.33μm p-v            0.06μm rms
【測定データ】ベストR形状での誤差
非接触では測定困難な低反射・梨地表面も測定可能! 従来の測定法では検出できなかったフチだれや局所的な形状誤差も定量的に評価できます。
石定盤の平面度測定
【3D測定データ】石定盤の測定データ
【測定データ】石定盤の解析グラフ
1)摩耗した平面 FLTt=6.35μm
2)摩耗量 VVc=2.2ml/m2



 
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