| Precision apparatus special trading company |
 |
|
TOPへ ｜ 製品紹介 ｜ 企画設計 ｜ 採用情報 ｜ 企業概要 ｜ お問合わせ |
■ スキャンＡＦによる高速測定
8000点の測定点数が僅か15秒で！！
■ 面領域での形状と粗さｊ評価
■ 卓上でコンパクト、装置重量31kg
■ 半導体チップや基板の平坦度評価に
8000点の測定点数が僅か15秒で！！
■ 面領域での形状と粗さｊ評価
■ 卓上でコンパクト、装置重量31kg
■ 半導体チップや基板の平坦度評価に
スキャンニング用高精度自動ＸＹステージとZ軸高さ
測定用のポイントオートフォーカス式顕微鏡の組み合わせで構成され、ワークより反射したレーザスポットをリアルタイムに検出してAFセンサ中心に結像する様、AF軸機構部を用いてZ軸高さの位置決めをしています。
この測定法はワーク表面の色や反射率の影響を受けず、対物レンズ視野外の広範囲測定を実現します。
| X | Y | AF | Z | |
|---|---|---|---|---|
| 可動範囲(m m) | 60 |
600 |
10 |
60 |
| 分解能(μm) | 0.1 |
0.1 |
0.01 |
0.1 |
| 測定精度(μm) | 2+4 L/1000 |
2+4 L/1000 |
0.3+0.5 L/10 |
L=測定長mm
| その他 | 画像キャプチャ機能 MitakaMap-ST 3点式防振パッド |
|---|
■【断面・寸法評価】V溝形状の解析例（合否判定）
■【３次元・寸法評価】
■【断面・寸法評価】V溝形状の解析例（合否判定）
| 粗さパラメータ | PTB触針式 | PF-60 | 差 |
|---|---|---|---|
| 算術平均高さ(Ra) | 0.227 |
0.228 |
0.001 |
| 最大高さ(Ｒｚ) | 1.50 |
1.56 |
0.06 |
粗さ標準片：Type D1(ISO5436-1)
校正機関：PTB(ドイツ)
測定法：触針式
スタイラス半径：5μｍ
評価長さ(In)=4mm
カットオフ値(λｃ)=0.8mm
校正機関：PTB(ドイツ)
測定法：触針式
スタイラス半径：5μｍ
評価長さ(In)=4mm
カットオフ値(λｃ)=0.8mm
■【評価】国際規格（ISO）に準拠した粗さ／形状評価】
ソフトウェアMitakaMap−ＳＴを標準装備
MItakaMap-STは評価手順をマクロ化出来る 事で人的誤差を無くし、且つ、レポート作成機能も充実しております。
XY軸600mm可動範囲の超精密ステージと0.01μｍの高さ分解能を持つポイントオートフォーカスプローブにより実現した高速・大型非接触三次元測定装置で、大型化高精度化する超精密部品の寸法・形状・面領域を高精度に測定できます。
| X | Y | AF | Z | |
|---|---|---|---|---|
| 可動範囲(m m) | 600 |
600 |
10 |
120 |
| 分解能(μm) | 0.1 |
0.1 |
0.01 |
0.1 |
| 測定精度(μm) | 2+4 L/1000 |
2+4 L/1000 |
0.3+0.5 L/10 |
スキャンAFで広範囲・高精度測定を実現！
形状除去により反りに埋もれたμmレベルのうねり形状を抽出できます。
大型望遠鏡の非球面ミラーやレンズ形状も数十nmレベルの精度でダイレクト測定！
1) 凸双曲面ミラーの断面形状
φ250mmサグ量3.6mm
R=-1911mm K=-3.447
φ250mmサグ量3.6mm
R=-1911mm K=-3.447
2) 設計形状との誤差
Z方向の誤差：1.59μm p-v 0.47μm rms
Z方向の誤差：1.59μm p-v 0.47μm rms
3) ベストR形状での誤差
（R=-1911.8mm）
Z方向の誤差：0.33μm p-v 0.06μm rms
（R=-1911.8mm）
Z方向の誤差：0.33μm p-v 0.06μm rms
非接触では測定困難な低反射・梨地表面も測定可能！
従来の測定法では検出できなかったフチだれや局所的な形状誤差も定量的に評価できます。
1)摩耗した平面 FLTt=6.35μm
2)摩耗量 VVc=2.2ml/m2
| 株式会社菱光社 Copyright (c) 2011 Ryokosha Corporation. All Rights Reserved. |