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  大ストローク・高倍タイプ

2次元測定と高さ測定が同時にできる、1台2役のコンフォーカルNEXIV。
大型化、高分解能ニーズに応える、大ストロークタイプ、高倍タイプ新登場！
■プローブガード
プローブガードの微細なコンタクト部分のXYZ座標を、
視野内一括測定します。		 ■ウェハレベルパッケージ
3D画像（先端のみ検出） 明視野像 3Dビューアソフトウェア
（オプション）による鳥瞰図
　主な特徴
■ プリント配線基板のサイズに対応
■ 30×対物レンズでW.D. 5mmを達成した新光学系（Type-H）
■ ニコンのオプトメカトロ技術を結集した開発した、まったく新しいタイプの画像測定機
■ 配線幅3μmに対応する高分解能（Type-H）
■ 対物倍率は3タイプを用意（Type-S）


  ■　主な仕様
　　
モデル
VMZ-K6555
Type-H
VMZ-K6555 Type-S
ヘッドタイプ   高倍ヘッド 標準ヘッド
対物レンズ 倍率 30× 1.5× 3× 7.5×
W.D. 5mm 24mm 24mm 5mm
共焦点光学系
（エリア高さ測定）		 最大高さスキャン範囲 1mm
視野範囲 0.4mm×0.3mm 8 mm×6 mm 4 mm×3 mm 1.6 mm×1.2 mm
繰返し精度（2σ） 0.2μm 0.6μm 0.35μm 0.25μm
高さ分解能 0.01μm
明視野光学系
（2次元測定）		 変倍方式 電動5段階ズーム
視野範囲 0.63mm×0.47mm
〜0.049mm×0.037mm		 8mm×6mm
〜0.53mm×0.4mm		 4mm×3mm
〜0.27mm×0.2mm		 1.6mm×1.2 mm
〜0.11mm×0.08mm
照明 透過、同軸落射 透過、同軸落射、斜光
照明光源 白色LED
オートフォーカス TTLレーザAF / イメージAF
本　　体
ストローク（X、Y、Z） 650 mm×550 mm×150 mm
精度保証質量 30 kg
XY測定精度 U1X / Y 1.5＋2.5L / 1000μm
U2XY 2.5＋2.5L / 1000μm
Z測定精度 1＋L / 1000μm
本体質量 約850 kg
供給電源 / 消費電流
 AC 100 〜 240 V ±10% 50 / 60 Hz / 10 A 〜 5 A
環境条件 温度：20℃±0.5K／湿度：70%以下
取得規格 CEマーキング（低電圧／EMC／レーザ）
設置寸法（W × D） 2500mm × 1900mm
 
 
　
株式会社菱光社
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