Precision apparatus special trading company 
 
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KE-100
ET4000は高精度・全自動対応の微細形状測定機です。
微小測定力検出器にによる軟質試料面測定に対応し、各軸に精度の高いユニットを組合せ高精度の測定が出来ます。

またオプションを含め6軸の測定自動化要素を組み合わせて、試料面の任意複数個所を自動的に測定・評価することが出来ます。
KAF-11
KAF-11
KAF-11
特徴
最大サンプルサイズXYZ 210×210×50mm (8"対応)
Z方向測定範囲 Max.100μm
Z方向分解能 0.1nm (±3.2μmレンジ)
測定力 Min.0.5μN (0.05mgf)
X軸移動真直度 0.1μm/100mm (0.005μm/5mm)
Y軸機能 位置決め用および三次元測定用 (オプション)
観察装置 カラーCCDカメラ、総合倍率Max.200X
データ処理・自動測定機能 詳細ご問い合わせください
 
株式会社菱光社
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