| Precision apparatus special trading company |
| |
TOPへ | 製品紹介 | 企画設計 | 採用情報 | 企業概要 | お問合わせ | |


ET4000は高精度・全自動対応の微細形状測定機です。
微小測定力検出器にによる軟質試料面測定に対応し、各軸に精度の高いユニットを組合せ高精度の測定が出来ます。
またオプションを含め6軸の測定自動化要素を組み合わせて、試料面の任意複数個所を自動的に測定・評価することが出来ます。
微小測定力検出器にによる軟質試料面測定に対応し、各軸に精度の高いユニットを組合せ高精度の測定が出来ます。
またオプションを含め6軸の測定自動化要素を組み合わせて、試料面の任意複数個所を自動的に測定・評価することが出来ます。



特徴
| 最大サンプルサイズXYZ | 210×210×50mm (8"対応) |
|---|---|
| Z方向測定範囲 | Max.100μm |
| Z方向分解能 | 0.1nm (±3.2μmレンジ) |
| 測定力 | Min.0.5μN (0.05mgf) |
| X軸移動真直度 | 0.1μm/100mm (0.005μm/5mm) |
| Y軸機能 | 位置決め用および三次元測定用 (オプション) |
| 観察装置 | カラーCCDカメラ、総合倍率Max.200X |
| データ処理・自動測定機能 | 詳細ご問い合わせください |
| 株式会社菱光社 Copyright (c) 2009 Ryokosha Corporation. All Rights Reserved. |