ARCscan series RE-Type

Precision apparatus special trading company　


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ARCscan　is the best way as Macro Monitoring for patterned substrate with high sensitivity and easy operation

■NIL 開発評価・改善

■NILモールド/製品評価

■モールド状態管理（離形剤経時変化等）

■ウェハデフォーカス評価・改善

■凹凸フィルム（レンズ、格子等）

■金属凹凸検査

■エッジ反射光　(RE-Type)

■ムラ定量化機能搭載（鳥瞰図、エリアごとの輝度平均、標準変差　を表示）

■モールド劣化モニター機能搭載

■超高感度モード搭載可（オプション）

■装置サイズ

■撮像領域

■出力画像

■撮像速度

■ 搭載可能サンプル厚

780mm(W) x 1200mm(D) x 1850mm(H)

(ex.　コンパクト筺体サイズ）

150mm□（コンパクト筺体タイプ）

300mm□（ワイド筺体タイプ）

B/W 8bit出力

Typ. 20mm/sec(反射光量に依存）

t=～10.0mm（100μm以下の薄膜フィルムは、別途御相談）

ウェハー正逆差による
パターンムラの可視化