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平素は格別のお引立てを賜り、厚くお礼申し上げます。                    
第4回高機能フィルム技術展におきまして、タッチパネル部材、高機能フィルム、などにおける検査に対して、複屈折、軸方位評価装置、目視検査照明、膜厚評価にてご提案致します。研究開発から現場検査までを対象とする製品を実機展示しておりますので、是非、弊社ブースへお越し頂けますことを心よりお待ちしております。
2013年3月吉日 兜H光社







Φ1mm以下のエリアに対しての高リターダンス評価が可能となりました。偏光顕微鏡の定量評価ツールとしてご活用下さい。又、反射観察にも対応可能です。

測定実績:光学フィルム、レンズ、有機膜? etc

右図:有機高分子の球晶の観察



高速に2次元複屈折を定量及び視覚的な面分布として測定を行います。リターダンスと軸方位の解析が可能。光学フィルムの製造管理としてご活用下さい。

測定実績:光学フィルム、水晶、サファイア

右図:1/2波長板フィルム 評価例




右図:フィルム内部不良 評価例




研究・開発、製造・品質保証における計測〜解析までの作業において、機能が豊富でありながら「使いやすさ」に重点をおいた装置です。
透明体を透過して下の表面形状計測を可能にした「菱化リニク干渉計」は、層断面計測により多様な計測が可能です。






通常のカメラと同様に偏光をリアルタイムに面分布評価が可能なカメラです。偏光フィルム越しにて観察する事で大よその面内歪みを可視化する事が可能です。

右図:プラケース観察例






システムへの組み込み可能な高速小型のエリプソメーターです。
ヘッドユニットの取り外しが可能ですのでユーザー様にて様々なシステムへのエリプソ機能導入が可能です。


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ME-210ではウエハ全面を毎分1000点以上で測定可能。
さらに任意の指定箇所を最大毎分5000点以上で、微小領域の膜厚分布をとらえることが可能です。
 
      
 
GaN膜厚/6インチウェハ測定時間:10分/微小エリアの測定溝幅:100μm
 






X線による膜厚・密度・組成比などの測定が可能。
用途に合わせ、XRR、GI-XRF、HA-XRFの最大3ユニットまで搭載できます。
光学式膜厚装置では測定できない金属膜など高感度に絶対膜厚測定が可能です。


右図:積層膜XRR測定例






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株式会社菱光社
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