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　　三鷹光器(株)／(株)菱光社
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　特徴・・・8インチウェハ、リードフレームなど高密度、大型化する半導体製品の品質管理に最適
□ 高密度、大型化する半導体製品の品質管理に最適
□ 測定範囲(X,Y,Z)=(250,200,10)mm
オプション時Z=110mm



　　三鷹光器(株)／(株)菱光社
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　特徴
□ 門型構造で大型重量物の高精度測定を実現
□ 測定範囲(X,Y,Z)=(300,400,130)mm
オプション時Z=170mm
 


　　三鷹光器(株)／(株)菱光社
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　特徴
□ 液晶ディスプレイのパターン
□ 大型非球面ミラーをダイレクト測定
□ 測定範囲(X,Y,Z)=(400,500,170)mm


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　加工から結像性能までの総合評価装置
NH-3N 優れた機能と高いコストパフォーマンスを兼備したNHシリーズの標準システム
　60°以上の傾斜面のμm計測を可能にしたスティッチング計測技術
NH-3SP 測定精度、分解能を極めた高精度バージョン
NH-4N 8インチウェハ、リードフレームなど高密度、大型化する半導体製品の品質管理に最適
NH-5N 門型構造で精密金型等、大型重量物の高精度測定を実現
NH-6N 液晶ディスプレイのパターン、大型非球面ミラー等をダイレクト測定


　
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