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ご好評のNHシリーズをグレードアップし、Z分解能0.001μm、XY分解能0.01μｍと超高精度を実現いたしました。
非接触で、サンプルの色や反射率、角度など、さまざまな表面の状態に影響されることなく測定を行い、広範囲の測定エリアとサブミクロンの測定精度を満足する3次元測定装置です。 |
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| 特徴 |
高精度高さ測定で多機種の追従を許さないNH-3SPの大きな特徴は |
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絶対精度=±0.4μｍ |
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反射率に依存しない |
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完全非破壊測定(非接触) |
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広い測定範囲 |
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自動測定 |
等があげられます。前工程での素子の高さ測定、HDD関連、非球面レンズ測定、他様々な用途で可能性を拓きます。
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| 仕様・測定機能 |
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仕様 |
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| 高さ最小分解能 |
0.001μｍ |
| 高さ絶対精度 |
±(0.1+0.3Ｌ/10)μｍ |
| 高さ再現性 |
σ=0.01μm以内 |
| 高さ測定範囲 |
10ｍｍ(〜120mm) |
| XY最小分解能 |
0.02μm
XY絶対精度=±(0.5+2.5L/1000)μｍ
XY測定範囲=150×150mm〜 |
| 制御ソフトOS |
WindowsXP |
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■ 測定機能
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三次元形状測定・断面形状測定・粗さ測定・自動測定・各種測定機能 |
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| 測定範囲 |
X,Y,Z) =150X150X10mm
オプションにてZ=130mm |
| 測定分解能 |
(X,Y,Z) =0.01X0.01X0.001μm |
| 測定応用例 |
□非球面レンズ測定、形状評価
□金型の測定、粗さ測定
□マイクロレンズ測定、ピッチ計測
□液晶導光板の形状、ピッチ
□ウエハパターンの寸法測定
□表面のキズ、欠陥測定
□MEMS関連
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シリーズ最高峰Z分解能=1nm！
三鷹光器(株)／(株)菱光社
加工から結像性能までの総合評価装置
